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1. (WO2016036246) MULTI ELECTRON BEAM INSPECTION APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/036246    International Application No.:    PCT/NL2015/050610
Publication Date: 10.03.2016 International Filing Date: 03.09.2015
IPC:
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/301 (2006.01)
Applicants: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Stevinweg 1 NL-2628 CN Delft (NL)
Inventors: KRUIT, Pieter; (NL)
Agent: PETERS, Sebastian Martinus; (NL)
Priority Data:
2013411 04.09.2014 NL
Title (EN) MULTI ELECTRON BEAM INSPECTION APPARATUS
(FR) APPAREIL D'INSPECTION À FAISCEAUX D'ÉLECTRONS MULTIPLES
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to an assembly for inspecting the surface of a sample. The assembly comprises two or more multi-beam electron column units. Each unit comprises : a single thermal field emitter for emitting a diverging electron beam towards a beam splitter; wherein the beam splitter comprises a first multi-aperture plate comprising multiple apertures for creating multiple primary electron beams; a collimator lens for collimating the diverging electron beam from the emitter; an objective lens unit for focusing said multiple primary electron beams on said sample; and a multi-sensor detector system for separately detecting the intensity of secondary electron beams created by each one of said focused primary electron beams on said sample. The two or more multi-beam electron column units are arranged adjacent to each other for inspecting different parts of the surface of the sample at the same time.
(FR)L'invention concerne un ensemble destiné à inspecter la surface d'un échantillon. L'ensemble comprend au moins deux unités de colonne à faisceaux d'électrons multiples. Chaque unité comprend : - un seul émetteur à champ thermique destiné à émettre un faisceau d'électrons divergent vers un séparateur de faisceaux, - le séparateur de faisceaux comprenant une première plaque comprenant de multiples ouvertures pour créer de multiples faisceaux d'électrons primaires, - une lentille de collimateur destinée à collimater le faisceau d'électrons divergent par rapport à l'émetteur, - une unité de lentille d'objectif destinée à focaliser lesdits multiples faisceaux d'électrons primaires sur ledit échantillon, et - un système de multi-capteur-détecteur destiné à détecter séparément l'intensité de faisceaux d'électrons secondaires créés par chacun desdits faisceaux d'électrons primaires focalisés sur ledit échantillon.Les au moins deux unités de colonne à faisceaux d'électrons multiples sont agencées adjacentes les unes aux autres pour inspecter différentes parties de la surface de l'échantillon en même temps.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)