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1. (WO2015170969) APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING A SAMPLE USING A PLURALITY OF CHARGED PARTICLE BEAMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/170969    International Application No.:    PCT/NL2015/050271
Publication Date: 12.11.2015 International Filing Date: 23.04.2015
IPC:
H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Stevinweg 1 NL-2628 CN Delft (NL)
Inventors: KRUIT, Pieter; (NL).
ZONNEVYLLE, Aernout Christiaan; (NL).
REN, Yan; (NL)
Agent: PETERS, Sebastian Martinus; (NL)
Priority Data:
2012780 08.05.2014 NL
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING A SAMPLE USING A PLURALITY OF CHARGED PARTICLE BEAMS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'ÉCHANTILLON À L'AIDE D'UNE PLURALITÉ DE FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to an apparatus and a method for inspecting a sample. The apparatus comprises: ∙ a sample holder (150) for holding the sample (15), ∙ a multi beam charged particle generator for generating an array of primary charged particle beams (3), ∙ an electro-magnetic lens system (13) for directing said array of primary charged particle beams into an array of separate focused primary charged particle beams on said sample, ∙ a multi-pixel photon detector (20) arranged for detecting photons created by said focused primary charged particle beams when said primary charged particle beams impinge on the sample or after transmission of said primary charged particle beams through the sample, ∙ and an optical assembly (40) for conveying photons (30, 31, 32) created by at least two adjacent focused primary charged particle beams of said array of separate focused primary charged particle beams to distinct and/or separate pixels or to distinct and/or separate groups of pixels of the multi-pixel photon detector.
(FR)La présente invention concerne un appareil et un procédé d'inspection d'échantillon. L'appareil comprend : ∙ un porte-échantillon (150) destiné à maintenir l'échantillon (15), ∙ un générateur de particules chargées en faisceaux multiples destiné à générer un réseau de faisceaux de particules chargées primaires (3), ∙ un système de lentilles (13) électro-magnétique destiné à diriger ledit réseau de faisceaux de particules chargées primaires dans un réseau de faisceaux de particules chargées primaires focalisés séparés sur ledit échantillon, ∙ un détecteur de photons à pixels multiples (20) agencé pour détecter des photons créés par lesdits faisceaux de particules chargées primaires focalisés lorsque lesdits faisceaux de particules chargées primaires frappent l'échantillon ou après transmission desdits faisceaux de particules chargées primaires à travers l'échantillon, ∙ et un ensemble optique (40) destiné à transporter des photons (30, 31, 32) créés par au moins deux faisceaux de particules chargées primaires focalisés adjacents dudit réseau de faisceaux de particules chargées primaires focalisés séparés vers des pixels distincts et/ou séparés ou vers des groupes de pixels distincts et/ou séparés du détecteur de photons à pixels multiples.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)