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1. (WO2006009444) METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING A SPECIMEN SURFACE AND USE OF FLUORESCENT MATERIALS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/009444    International Application No.:    PCT/NL2005/000529
Publication Date: 26.01.2006 International Filing Date: 21.07.2005
Chapter 2 Demand Filed:    23.05.2006    
IPC:
G01N 23/225 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST- NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO [NL/NL]; Schoemakerstraat 97, NL-2628 VK Delft (NL) (For All Designated States Except US).
NIJKERK, Michiel David [NL/NL]; (NL) (For US Only).
KRUIT, Pieter [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: NIJKERK, Michiel David; (NL).
KRUIT, Pieter; (NL)
Agent: WINCKELS, J.H.F.; Johan de Wittlaan 7, NL-2517 JR Den Haag (NL)
Priority Data:
04077130.5 23.07.2004 EP
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING A SPECIMEN SURFACE AND USE OF FLUORESCENT MATERIALS
(FR) PROCEDE POUR INSPECTER UNE SURFACE D'ECHANTILLON, UN APPAREIL ET UN PROCEDE D'UTILISATION DE MATERIAU FLUORESCENT
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a method of inspecting a specimen surface. The method comprises the steps of generating a plurality of primary beams directed towards the specimen surface, focussing the plurality of primary beams onto respective loci on the specimen surface, collecting a plurality of secondary beams of charged particles originating from the specimen surface upon incidence of the primary beams, converting at least one of the collected secondary beams into an optical beam, and detecting the optical beam.
(FR)L'invention concerne un procédé pour inspecter la surface d'un échantillon. Le procédé consiste à générer une pluralité de faisceaux primaires dirigés vers la surface de l'échantillon, à focaliser la pluralité de faisceaux primaires sur les lieux respectifs de la surface d'échantillon, à collecter une pluralité de faisceaux secondaires de particules chargées provenant de la surface de l'échantillon sous l'effet de l'incidence des faisceaux primaires, à convertir au moins un des faisceaux secondaires convertis en un faisceau optique et à détecter le faisceau optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)