WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2010100235) APPARATUS AND PROCESS FOR ATOMIC OR MOLECULAR LAYER DEPOSITION ONTO PARTICLES DURING PNEUMATIC TRANSPORT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/100235    International Application No.:    PCT/EP2010/052769
Publication Date: 10.09.2010 International Filing Date: 04.03.2010
Chapter 2 Demand Filed:    29.12.2010    
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Applicants: DELFT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY [NL/NL]; Stevinweg 1 NL-2628 CN Delft (NL) (For All Designated States Except US).
VAN OMMEN, Jan Rudolf [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: VAN OMMEN, Jan Rudolf; (NL)
Agent: MOOIJ, Maarten; Rembrandt Tower 31st Floor Amstelplein 1 NL-1096 HA Amsterdam (NL)
Priority Data:
2002590 04.03.2009 NL
Title (EN) APPARATUS AND PROCESS FOR ATOMIC OR MOLECULAR LAYER DEPOSITION ONTO PARTICLES DURING PNEUMATIC TRANSPORT
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR LE DÉPÔT DE COUCHE ATOMIQUE OU MOLÉCULAIRE SUR DES PARTICULES PENDANT UN TRANSPORT PNEUMATIQUE
Abstract: front page image
(EN)The invention provides a process for depositing a coating onto particles being pneumatically transported in a tube. The process comprising the steps of providing a tube having an inlet opening and an outlet opening; feeding a carrier gas entraining particles into the tube at or near the inlet opening of the tube to create a particle flow through the tube; and injecting a first self-terminating reactant into the tube via at least one injection point downstream from the inlet opening of the tube for reaction with the particles in the particle flow. The process is suitable for atomic layer deposition and molecular layer deposition. An apparatus for carrying out the process is also disclosed.
(FR)La présente invention a pour objet un procédé pour le dépôt d'un enrobage sur des particules transportées de manière pneumatique dans un tube. Le procédé comprend les étapes consistant à prévoir un tube ayant une ouverture d'entrée et une ouverture de sortie ; à introduire un gaz porteur entraînant les particules dans le tube au niveau ou près de l'ouverture d'entrée du tube pour créer un flux de particules à travers le tube ; et à injecter un premier réactif à auto-terminaison dans le tube par l'intermédiaire d'au moins un point d'injection en aval de l'ouverture d'entrée du tube pour une réaction avec les particules dans le flux de particules. Le procédé est approprié pour le dépôt de couche atomique et le dépôt de couche moléculaire. La présente invention concerne également un appareil pour la mise en œuvre du procédé.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)