(EN) A method and an apparatus for testing an array substrate that is a component of a liquid crystal display panel. The method and apparatus realize shortening of the test times and also realize reduction of the equipments. In the method and apparatus, while the array substrate is placed in a tester chamber, an electric signal is supplied to a driver circuit part including at least one of a scan line driver circuit and a signal line driver circuit (S1). The electric signal having flowed through that driver circuit part is detected, thereby testing that driver circuit part (S2). An electron beam is irradiated to a pixel electrode that has been charged, and information of secondary electrons discharged from the pixel electrode is used to perform the test as to the pixel electrode (S5).
© KIPO & WIPO 2007
(KO) 어레이 기판을 테스터 챔버 내에 배치한 상태에서, 주사선 구동 회로 및 신호선 구동 회로 중 적어도 한 쪽의 구동 회로를 포함하는 구동 회로부에 대하여 전기 신호를 공급하고(S1), 이 구동 회로부를 흐른 전기 신호를 검출함으로써 이 구동 회로부를 검사한다(S2). 전하가 챠지된 화소 전극에 대하여 전자 빔을 조사하고, 이 화소 전극으로부터 방출되는 2차 전자의 정보에 의해서 화소 전극에 관해서 검사한다(S5).