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1. (KR1020080053055) SUBSTRATE ETCHING APPARATUS AND A LCD MANUFACTURING LINE, PARTICULARLY FOR REDUCING THE WEIGHT OF AN LCD BY ETCHING A SUBSTRATE OR A LIQUID CRYSTAL PANEL
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Application Number: 1020060124994 Application Date: 08.12.2006
Publication Number: 1020080053055 Publication Date: 12.06.2008
Grant Number: 1013758480000 Grant Date: 18.03.2014
Publication Kind : B1 KOREAN PATENT ABSTRACTS
IPC:
G02F 1/13
C03C 15/00
CPC:
G02F 1/1303
H01L 21/6708
H01L 21/6734
H01L 21/67748
Applicants: LG DISPLAY CO., LTD.
SMART APPLICATIONS CO., LTD.
엘지디스플레이 주식회사
(주)스마트에이스
Inventors: PARK, SANG MIN
박상민
LIM, EUN SUB
임은섭
CHUN, WON SEOP
전원섭
PARK, MAN HEON
박만헌
Agents: 박장원
Priority Data:
Title: (KO) 기판식각장치 및 이를 이용한 액정표시소자 제조라인
(EN) SUBSTRATE ETCHING APPARATUS AND A LCD MANUFACTURING LINE, PARTICULARLY FOR REDUCING THE WEIGHT OF AN LCD BY ETCHING A SUBSTRATE OR A LIQUID CRYSTAL PANEL
Abstract:
(KO) 본 발명에 따른 기판식각장치는 이전 공정이 종료된 기판을 수납하여 이송하는 카세트와, 상기 카세트에 수납된 기판을 취출하는 제1로보트와, 상기 제1로보트로부터 기판이 전달되어 기판이 놓이며 상하이동하는 제2로보트와, 기판을 지지하는 지지부와 기판을 고정시키는 홀더를 구비하여 상기 제2로보트에 의해 로딩된 기판을 고정시키는 식각카세트와, 적어도 하나의 식각카세트가 고정되며, 설정된 각도로 회전하여 기판을 지면과 수직으로 배치시키는 카세트고정부와, 상기 카세트고정부에 의해 수직으로 배치된 기판을 식각하는 식각장치로 구성된다.
(EN) PURPOSE: A substrate etching apparatus and an LCD(Liquid Crystal Display) manufacturing line are provided to speedily etch substrates and liquid crystal panels by automatically realizing etching for them in the middle of a manufacturing line. CONSTITUTION: An etching apparatus comprises a robot(35), an etching cassette(44), a cassette fixing part(40), and an etcher. The robot, where a substrate(1) is laid, moves up and down. The etching cassette fixes the substrate loaded by the robot. The cassette fixing part, to which at least one etching cassette is fixed, rotates at a preset angle and arranges the substrate at right angles to the ground. The etcher etches the substrate arranged at right angles to the ground. ©KIPO 2008