(EN) The device (100) comprises a substrate (10) of a semiconductor material with a first and an opposite second surface (1,2) and a microelectromechanical (MEMS) element (50) which is provided with a fixed and a movable electrode (52, 51) that is present in a cavity (30). One of the electrodes (51,52) is defined in the substrate (10). The movable electrode (51) is movable towards and from the fixed electrode (52) between a first gapped position and a second position. The cavity (30) is opened through holes (18) in the substrate (10) that are exposed on the second surface (2) of the substrate (10). The cavity (30) has a height that is defined by at least one post (15) in the substrate (10), which laterally substantially surrounds the cavity (15). ©KIPO&WIPO 2008
(KO) 디바이스(100)는 제1 및, 이에 대향하는 제2 표면을 갖는 반도체 물질의 기판(10) 그리고, 고정 전극(52) 및, 공동(30)에 존재하는 이동 가능한 전극(51)을 갖춘 MEMS 구성요소(50)를 포함한다. 상기 전극(51, 52) 중 하나는 기판(10)에서 한정된다. 상기 이동 가능한 전극(51)은 제1 및 제2 갭이 있는 위치 사이의 고정 전극(52)으로/고정 전극으로부터 이동 가능하다. 이 공동(30)은 기판(10)의 제2 표면(2) 상에 노출된 기판(10) 속의 홀(hole)(18)을 통해 개방된다. 이 공동(30)은 공동(15)을 측면으로 실질적으로 둘러싸는 기판(10)에 적어도 하나의 포스트(15)에 의해 한정되는 높이를 갖는다.
