(KO) 기판 공급 유닛은 높이 방향의 각각 상이한 위치에 설치된 3계층 이상의 복수의 데크(42, 44, 46)로 구성되고, 각 데크가 높이 방향에 직교하는 안길이 방향으로 배열되는 복수의 기판 수용체(90)를 수용하는, 본체부(110)와, 본체부(110)에 있어서의 안길이 방향의 일방측에 인접하여 배치되고, 어느 하나의 데크에 기판 수용체 (90)를 공급하도록 기판 수용체(90)를 높이 방향으로 상하로 이동시키는 엘리베이터부(120)와, 본체부(110)에서의 안길이 방향의 타방측에 인접하여 배치되고, 어느 하나의 데크로부터 기판 수용체를 꺼내고, 또한, 기판 수용체에 수용되는 기판을 본딩용 반송 레인(30)에 반송하는 기판 반송부(130)를 구비한다. 이것에 의해, 콤팩트한 구성을 구비함과 아울러 처리 태양의 자유도를 향상시킬 수 있다.