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1. KR1020180108685 - 기판 이송용 핸드

Office Republic of Korea
Application Number 1020187024100
Application Date 27.01.2017
Publication Number 1020180108685
Publication Date 04.10.2018
Publication Kind A
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677
for conveying, e.g. between different work stations
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65
CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
G
TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
47
Article or material-handling devices associated with conveyers; Methods employing such devices
74
Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
90
Devices for picking-up and depositing articles or materials
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65
CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
G
TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
49
Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
05
for fragile or damageable materials or articles
06
for fragile sheets, e.g. glass
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
H01L 21/677
B65G 47/90
B65G 49/06
H01L 21/67
Applicants 가부시키가이샤 다이헨
Inventors 오카모토 켄타로
Agents 특허법인아주
Priority Data JP-P-2016-015476 29.01.2016 JP
Title
(KO) 기판 이송용 핸드
Abstract
(KO)
[과제] 기판에 대한 접점을 저감시키고, 그리고 기판을 강성이 높은 상태로 지지할 수 있는 기판 이송용 핸드를 제공한다. [해결 수단] 세로방향으로 연장되는 세로 핸드 지지부(20a)와, 해당 세로 핸드 지지부(20a)에 연결되어, 해당 세로 핸드 지지부(20a)가 연장되는 방향에 대해서 교차하는 방향으로 연장되는 복수개의 가로 핸드 지지부(31a, 32a)를 포함하되, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부(31a, 32a)는 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31a)와, 복수의 제2 가로 핸드 지지부(32a)를 포함하고 있고, 상기 각각의 제1 가로 핸드 지지부(31a)는, 각각 해당 제1 가로 핸드 지지부(31a)가 연장되는 방향으로 나열되고, 상기 기판(SB)에 접할 수 있는 복수의 제1 접점(40A)을 구비하고, 해당 제1 접점(40A)의 최고 높이 위치는 제1 높이이며, 각각의 상기 제2 가로 핸드 지지부(32a)는, 각각 해당 제2 가로 핸드 지지부(32a)가 연장되는 방향으로 나열되고, 상기 기판(SB)에 접할 수 있는 복수의 제2 접점(40B)을 구비하고, 해당 제2 접점(40B)의 최고 높이 위치는 상기 제1 높이보다도 낮은 제2 높이이다.