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1. (KR1020180103979) 자기 저항 효과 소자의 제조 방법

Office : Republic of Korea
Application Number: 1020187023280 Application Date: 01.02.2016
Publication Number: 1020180103979 Publication Date: 19.09.2018
Publication Kind : A
Prior PCT appl.: Application Number: ; Publication Number:WO2017134697 Click to see the data
IPC:
H01L 43/12
H01L 43/08
H01L 43/10
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43
Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
12
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43
Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
08
Magnetic-field-controlled resistors
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43
Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
10
Selection of materials
Applicants: 캐논 아네르바 가부시키가이샤
Inventors: 호소야 히로유키
나가미네 요시노리
Agents: 문두현
Priority Data:
Title: (KO) 자기 저항 효과 소자의 제조 방법
Abstract: front page image
(KO) 본 발명의 일 실시형태에 따른 자기 저항 효과 소자의 제조 방법은, 레퍼런스층이 성막된 기판 위에 Mg막을 형성하고, Mg막을 산화함으로써 레퍼런스층 위에 MgO층을 성막하는 공정과, MgO층이 성막된 기판을 가열하는 공정과, 가열하는 공정 후에, MgO층 위에 Mg층을 성막하는 공정과, Mg층이 성막된 기판을 냉각하는 공정과, 냉각하는 공정에 의해 기판이 냉각된 상태에서, Mg층 위에 프리층을 성막하는 공정을 갖고, Mg층을 성막하는 공정과, 냉각하는 공정과, 프리층을 성막하는 공정은, 같은 처리 챔버 내에서 행해지는 것을 특징으로 한다.
Also published as:
WO/2017/134697