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1. KR1020170117582 - 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ KO ]
청구의 범위
청구항 1
기판의 표면으로부터 레지스트를 제거하는 기판 처리 방법으로서,

혼합 유닛에서 과산화수소수와 불산을 혼합하여, 과산화수소수 및 불산의 혼합액을 생성하는 혼합 공정과,상기 혼합 공정 후에, 상기 혼합 유닛에서 혼합되어 상기 혼합 유닛을 통과한 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액과, 황산을, 황산 및 과산화수소수의 혼합비를 제어하여 혼합하여, 황산, 과산화수소수, 및 불산의 혼합액인 HF 혼합 SPM (Sulfuric acid/hydrogen Peroxide Mixture) 을 생성하는 생성 공정과,상기 HF 혼합 SPM 을 상기 기판의 표면에 공급하는 공급 공정을 포함하는, 기판 처리 방법.
청구항 2
제 1 항에 있어서,

상기 혼합 공정에서 혼합되는 과산화수소수 및 불산은 모두 상온인, 기판 처리 방법.
청구항 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 생성 공정은, 상기 기판으로부터 떨어진 위치에서 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액과 황산을 혼합하는 공정인, 기판 처리 방법.
청구항 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 생성 공정은, 상기 기판의 표면에서 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액과 황산을 혼합하는 공정인, 기판 처리 방법.
청구항 5
표면이 레지스트로 덮여 있는 기판을 유지하는 기판 유지 유닛과,상기 기판 유지 유닛에 유지되어 있는 기판의 표면에, 황산, 과산화수소수, 및 불산의 혼합액인 HF 혼합 SPM (Sulfuric acid/hydrogen Peroxide Mixture) 을 공급하는 SPM 공급 유닛을 구비하고,상기 SPM 공급 유닛은,과산화수소수와 불산을 혼합하여, 과산화수소수 및 불산의 혼합액을 생성하는 혼합 유닛과,상기 혼합 유닛이 과산화수소수와 불산을 혼합한 후에, 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액과 황산을 혼합하여, HF 혼합 SPM 을 생성하는 HF 혼합 SPM 생성 유닛을 포함하는, 기판 처리 장치.
청구항 6
제 5 항에 있어서,

상기 혼합 유닛은, 과산화수소수 및 불산이 개별적으로 공급되고, 상기 HF 혼합 SPM 생성 유닛에 공급되는 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액을 저류하는 혼합 탱크를 포함하는, 기판 처리 장치.
청구항 7
제 6 항에 있어서,

상기 혼합 유닛은, 상기 혼합 탱크 내의 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액을 교반하는 교반 유닛을 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
청구항 8
제 7 항에 있어서,

상기 교반 유닛은, 상기 혼합 탱크에 저류되어 있는 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액 중에 배치된 기체 토출구로부터 기체를 토출시킴으로써, 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액 중에 기포를 발생시키는 버블링 유닛을 포함하는, 기판 처리 장치.
청구항 9
제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 혼합 유닛은, 과산화수소수와, 상기 과산화수소수보다 소량의 불산을 혼합하고,상기 HF 혼합 SPM 생성 유닛은, 황산과, 상기 황산보다 소량의 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액을 혼합하는, 기판 처리 장치.
청구항 10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 혼합 공정은, 상기 혼합 유닛에서 과산화수소수와 불산을 불산의 농도를 제어하여 혼합하는, 기판 처리 방법.
청구항 11
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 생성 공정은, 상기 과산화수소수 및 불산의 혼합액과 황산을 혼합함으로써, 온도가 100 ℃ 이상의 상기 HF 혼합 SPM 을 생성하는 공정을 포함하고,상기 공급 공정은, 온도가 100 ℃ 이상의 상기 HF 혼합 SPM 을 상기 기판의 표면에 공급하는 공정을 포함하는, 기판 처리 방법.
청구항 12
제 11 항에 있어서,

상기 공급 공정은, 온도가 160 ℃ 의 상기 HF 혼합 SPM 을 상기 기판의 표면에 공급하는 공정을 포함하는, 기판 처리 방법.