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1. KR1020170097781 - 탄성파 장치 및 그 제조 방법

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[ KO ]
청구의 범위
청구항 1
제1 주면(主面)과, 상기 제1 주면에 대향하고 있는 제2 주면을 가지는 압전체층과, 상기 압전체층의 상기 제1 주면 상에 적층되어 있는 음향 반사층과, 상기 압전체층에 마련되어 있는 여진(勵振)전극과, 지지층을 포함하고, 상기 음향 반사층은, 상기 압전체층의 상기 제2 주면에 수직인 방향으로 봤을 때, 적어도 상기 여진전극과 겹치도록 위치하고 있으며, 상기 지지층은, 상기 압전체층의 상기 제2 주면에 수직인 방향으로 봤을 때, 상기 음향 반사층 및 상기 압전체층을 둘러싸도록 마련되어 있고, 상기 압전체층의 상기 제2 주면에 수직인 방향으로 봤을 때, 상기 음향 반사층과 상기 지지층 사이에 공극이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 2
제1항에 있어서,

상기 지지층의 외측면은 상기 압전체층의 상기 제2 주면에 수직인 방향에 평행한 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 3
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 음향 반사층이 복수의 음향 임피던스층을 가지고, 상기 복수의 음향 임피던스층이, 적어도 한 층의 저음향 임피던스층과, 상기 저음향 임피던스층보다도 음향 임피던스가 높은, 적어도 한 층의 고음향 임피던스층을 가지는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 4
제3항에 있어서,

상기 복수의 음향 임피던스층 중 적어도 한 층의 외측에 상기 공극이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 5
제4항에 있어서,

상기 저음향 임피던스층 및 상기 고음향 임피던스층 중 적어도 한 층의 외측에 상기 공극이 배치되어 있는 층이 금속층인 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 6
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 지지층은 바닥부를 가지는 개구부를 포함하고 있고, 상기 음향 반사층은 상기 바닥부와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 7
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 여진전극이 IDT 전극이면서,

상기 IDT 전극이 상기 압전체층의 상기 제2 주면에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 8
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 여진전극이 제1, 제2 여진전극을 가지고, 상기 제1 여진전극이 상기 압전체층의 상기 제1 주면에 마련되어 있으며, 상기 제2 여진전극이 상기 제2 주면에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 9
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 지지층의 상기 압전체층 측과는 반대 측에 마련되어 있는 보강 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 10
제3항에 있어서,

상기 음향 반사층, 또는 상기 복수의 음향 임피던스층 중 적어도 하나의 층이, 산화규소인 것을 특징으로 하는 탄성파 장치.
청구항 11
제1 주면과, 상기 제1 주면에 대향하고 있는 제2 주면을 가지면서,

압전체층으로 이루어지는 머더 기판의 상기 제1 주면 상에, 음향 반사층을 적층하는 공정과, 상기 음향 반사층을 패터닝(patterning)하고, 복수의 음향 반사층으로 분할하는 공정과, 상기 머더 기판의 상기 제1 주면 상 및 상기 복수의 음향 반사층 상에 지지층을 마련하는 공정과, 상기 머더 기판에 복수의 여진전극을 마련하는 공정과, 상기 지지층을 다이싱함으로써, 각각의 탄성파 장치로 분할하는 공정을 포함하고, 상기 지지층을 마련하는 공정은, 상기 지지층을, 상기 압전체층의 상기 제2 주면에 수직인 방향으로 봤을 때, 각 상기 음향 반사층 및 상기 압전체층을 둘러싸도록 마련하는 공정이며, 상기 음향 반사층을 적층하는 공정은, 상기 음향 반사층을, 상기 압전체층의 상기 제2 주면에 수직인 방향으로 봤을 때, 적어도 각 상기 여진전극과 겹치는 위치에 마련하는 공정이고, 상기 음향 반사층 상에 지지층을 마련하는 공정은,상기 압전체층의 상기 제2 주면에 수직인 방향으로 봤을 때, 상기 음향 반사층과 상기 지지층 사이에 공극을 배치하는 것을 특징으로 하는 탄성파 장치의 제조 방법.
청구항 12
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청구항 13
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청구항 14
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