(KO) 간단한 구성으로, 기판에 부착되는 파티클의 양을 저감시키는 기술을 제공한다. 기판 처리 장치(10)는, 처리액을 노즐(11)로부터 토출하여 기판(9)을 처리하는 장치이다. 기판 처리 장치(10)는, 공급 배관(30) 및 기포 포착부(F2)를 구비하고 있다. 공급 배관(30)의 한쪽 끝은, 파티클을 제거하는 제1 필터(F1)를 통하여, 처리액을 공급하는 처리액 공급부(20)의 탱크(21)에 접속되어 있고, 공급 배관(30)의 다른 쪽 끝은, 노즐(11)에 접속되어 있다. 기포 포착부(F2)는, 공급 배관(30)에 있어서의, 제1 필터(F1)와 노즐(11) 사이의 위치에 끼워져 삽입되어 있고, 처리액 중에 포함되는 기포(Ba1)를 포착한다. 기포 포착부(F2)에 의한 압력 손실(PL2)은, 상기 제1 필터(F1)에 의한 압력 손실(PL1)과 대략 동일하거나, 그보다도 작다.