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1. KR1020130108398 - 형상 측정 장치, 형상 측정 방법, 구조물의 제조 방법 및 프로그램

Office Republic of Korea
Application Number 1020137013485
Application Date 27.10.2011
Publication Number 1020130108398
Publication Date 02.10.2013
Grant Number
Grant Date 10.06.2016
Publication Kind B1
IPC
G01B 21/20
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
21Measuring arrangements or details thereof in so far as they are not adapted to particular types of measuring means of the other groups of this subclass
20for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
G01B 11/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
Applicants 가부시키가이샤 니콘
Inventors 간토 겐타
Agents 제일특허법인
Priority Data JP-P-2010-241340 27.10.2010 JP
Title
(KO) 형상 측정 장치, 형상 측정 방법, 구조물의 제조 방법 및 프로그램
Abstract
(KO)
(과제) 피검물에 대한 측정 영역의 설정 처리(티칭 처리)를 간소화한다. (해결 수단) 형상 측정 장치는, 삼차원 형상을 갖고 있는 피검물의 표면 형상을 검출하는 검출부(20)와, 미리 정해진 지정 영역에 있어서 검출된 형상 측정 데이터에 근거하여, 상기 지정 영역에 인접하는 영역을 측정 영역으로서 설정하는 영역 설정부(58)를 구비한다.

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