Processing

Please wait...

Settings

Settings

1. KR1020120127522 - 텔레센트릭 축상 암 시야 조명으로 구현된 광학 시스템의 사용과 성능의 최적화

Office Republic of Korea
Application Number 1020127025513
Application Date 07.07.2006
Publication Number 1020120127522
Publication Date 21.11.2012
Grant Number 1013222920000
Grant Date 28.10.2013
Publication Kind B1
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66
Testing or measuring during manufacture or treatment
H01L 21/66
Applicants 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
Inventors 볼드윈 레오
에머리 조셉 제이.
Agents 김학수
문경진
Priority Data 60/697,904 08.07.2005 US
Title
(KO) 텔레센트릭 축상 암 시야 조명으로 구현된 광학 시스템의 사용과 성능의 최적화
Abstract
(KO)
반도체 웨이퍼와 같은 평면형 반사성 대상물(102)을 이미징하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 일 실시예에서, 평면형 반사성 대상물(102) 상의 결함부를 이미징하기 위한 이미징 시스템(100)은, 텔레센트릭 렌즈(110)가 광학 수차에 대해 실질적으로 보정되도록, 충분히 비구면인 표면을 가지는 텔레센트릭 렌즈(110)를 포함한다. 이미징 시스템(100)은 또한 개구를 내부에 포함하여 평면형 반사성 대상물(102)로부터 반사된 광은 차단시키고 결함부로부터 반사된 광은 개구를 통과하게끔 위치되는 텔레센트릭 조리개(116)를 포함한다. 이미징 시스템(100)은 또한 텔레센트릭 조리개(116)와 렌즈 그룹(108) 사이에 위치한 시스템 조리개를 가지는 렌즈 그룹(108)을 포함한다. 이 렌즈 그룹(108)은 텔레센트릭 렌즈(110)와는 독립적인 광학 수차에 대해 실질적으로 보정된다.

Also published as
GB0724025.2
GB724025
Other related publications