Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. KR1020120080181 - 광원의 액티브 스펙트럼 제어

Office Republic of Korea
Application Number 1020127007614
Application Date 24.08.2010
Publication Number 1020120080181
Publication Date 16.07.2012
Grant Number
Grant Date 09.12.2015
Publication Kind B1
IPC
H01S 3/13
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
13Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency, amplitude
Applicants 사이머 엘엘씨
Inventors 성 낙근
라로빅 이반 비.
패럴 니겔 알.
라팍 로버트 제이.
벤딕 조셉 제이.
Agents 유미특허법인
Priority Data 12860288 20.08.2010 US
61/236,848 25.08.2009 US
Title
(KO) 광원의 액티브 스펙트럼 제어
Abstract
(KO)
광빔의 스펙트럼 속성을 제어하는 방법은, 광빔을 웨이퍼 상에 패턴을 생성하도록 구성된 리소그래피 노출 장치로 지향시키는 단계; 상기 광빔의 스펙트럼 속성을 나타내는 정보를 수신하는 단계; 상기 리소그래피 노출 장치의 광학 이미징 조건을 나타내는 정보를 수신하는 단계; 상기 수신된 스펙트럼 속성 정보와 상기 수신된 광학 이미징 조건 정보에 기초하여 상기 광빔의 특성 값을 추정하는 단계; 상기 추정된 광빔 특성 값이 타겟 광빔의 특성 값과 매칭하는지를 판정하는 단계; 및 상기 추정된 광빔 특성 값이 상기 타겟 광빔 특성 값과 매칭하지 않는것으로 판정되면, 상기 광빔의 상기 스펙트럼 속성을 조정하는 단계;를 포함한다.