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1. KR1020140055393 - 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치

Office Republic of Korea
Application Number 1020120122129
Application Date 31.10.2012
Publication Number 1020140055393
Publication Date 09.05.2014
Grant Number 1014188120000
Grant Date 16.07.2014
Publication Kind B1
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02
Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
H01L 21/02
Applicants 크린팩토메이션 주식회사
Inventors 장재원
이호근
윤준필
이정영
최성구
Agents 전수진
윤정호
김종승
Title
(KO) 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치
Abstract
(KO)
본 발명은, 비히클을 안내하기 위해 천장에 설치되도록 형성되는 레일; 상기 천장에 설치되도록 형성되고, 웨이퍼를 내부에 수용하는 용기를 상기 비히클로부터 전달받아 보관하도록 형성되며, 상기 용기의 내부와 연통되도록 형성되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 보관계; 및 상기 공급 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용될 가스를 공급하는 공급 유닛과, 상기 회수 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용된 가스를 회수 탱크로 회수하는 회수 유닛을 구비하는 퍼지 어셈블리를 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치를 제공한다.