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1. (KR1020140055393) 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치

Application Number: 1020120122129 Application Date: 31.10.2012
Publication Number: 1020140055393 Publication Date: 09.05.2014
Grant Number: 1014188120000 Grant Date: 16.07.2014
Publication Kind : B1
IPC:
H01L 21/02
CPC:
H01L 21/67389
H01L 21/677
H01L 21/67733
H01L 21/67769
H01L 21/67775
Applicants: 크린팩토메이션 주식회사
Inventors: 장재원
이호근
윤준필
이정영
최성구
Agents: 전수진
윤정호
김종승
Priority Data:
Title: (KO) 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치
Abstract:
(KO) 본 발명은, 비히클을 안내하기 위해 천장에 설치되도록 형성되는 레일; 상기 천장에 설치되도록 형성되고, 웨이퍼를 내부에 수용하는 용기를 상기 비히클로부터 전달받아 보관하도록 형성되며, 상기 용기의 내부와 연통되도록 형성되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 보관계; 및 상기 공급 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용될 가스를 공급하는 공급 유닛과, 상기 회수 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용된 가스를 회수 탱크로 회수하는 회수 유닛을 구비하는 퍼지 어셈블리를 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치를 제공한다.