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1. JP2020088589 - 圧電振動デバイス

Office Japan
Application Number 2018219893
Application Date 26.11.2018
Publication Number 2020088589
Publication Date 04.06.2020
Publication Kind A
IPC
H03H 9/02
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
02Details
H03B 5/32
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
5Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
30with frequency-determining element being electromechanical resonator
32being a piezo-electric resonator
H03H 9/19
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
15Constructional features of resonators consisting of piezo-electric or electrostrictive material
17having a single resonator
19consisting of quartz
Applicants 株式会社大真空
Inventors 石野 悟
古城 琢也
Agents 特許業務法人あーく特許事務所
Title
(JA) 圧電振動デバイス
Abstract
(JA)

【課題】基板実装時におけるTi膜の腐食を防止できるサンドイッチ構造の圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】水晶発振器101では、水晶振動板2と、水晶振動板2の第1励振電極を覆う第1封止部材3と、水晶振動板2の第2励振電極を覆う第2封止部材4とが接合パターン層によって接合され、第1励振電極と第2励振電極とを含む水晶振動板2の振動部22を気密封止した内部空間が形成される。接合パターン層は、平面視で振動部22を囲うように環状に形成されることで内部空間を気密封止する封止用パターン層(例えば振動側第1接合パターン251)と、配線および電極の導通を図るための導電用パターン層(例えば接続用接合パターン253)とを含んでおり、導電用パターン層は、周囲を前記封止用パターン層によって囲まれた閉空間内に配置される。封止用パターン層は、水晶発振器101の動作時にGND電位が与えられる。
【選択図】図4

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