1. JP2017519988 - 光ビームの特性評価のためのデバイスおよび方法

本発明の１つの態様は：
− 光ビームを分離器光学部品によって第１のサブビームと第２のサブビームとに分離するステップと、
− 第１の光学部品を介して第１のサブビームを、および第２の光学部品を介して第２のサブビームを伝搬させるステップであり、前記第１および第２の光学部品が、それぞれ、「参照ビーム」と呼ばれる第１の光学部品を出た後の第１のサブビームおよび「被特性評価ビーム」と呼ばれる第２の光学部品を出た後の第２のサブビームが時間遅延τだけ分離されるように配列される、伝搬させるステップと、
− ビームが、空間的に干渉し、第１の面に沿って延びる２次元干渉パターンを形成するように、再結合器光学部品によって参照ビームと被特性評価ビームとを再結合させるステップと、
− ２次元干渉パターンの少なくとも１つの部分の周波数スペクトルを測定システムによって測定するステップと、
− 周波数スペクトルの少なくとも１つの空間点の時間ドメインのフーリエ変換を計算するステップであり、時間ドメインの前記フーリエ変換が、時間中心ピークと第１および第２の時間サイドピークとを有する、計算するステップと、
− 前記第１および第２の時間サイドピークのうちの１つに対する周波数ドメインのフーリエ変換を計算するステップと、
− 周波数ドメインの前記フーリエ変換に対するスペクトル振幅Ａ_Ｒ（ω）と空間スペクトル位相φ_Ｒ（ｘ，ｙ，ω）とを計算するステップと
を含む光ビームの特性評価のための方法に関する。