(EN) PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a load lock chamber system which improves the throughput of substrate processing.
SOLUTION: A multi-level load lock chamber 100 having four environmentally separated chambers has a robot 600 for a transfer chamber and is interfaced with a transfer chamber 400 connected with a process chamber 16. The robot 600 for the transfer chamber has two arm assemblies 608, 616 which move in a horizontal direction when the robot rotates around its axis. These arms reach the separated chambers in the load lock and receive substrates from the separated lower chambers 224, 226 which are located at a bottom part. The arms also transfer the substrates to the process chamber 16 and put the substrates into the upper chambers 220, 222 after the processing. Each separated chamber in the load lock chamber includes a lid 306 that is pivotally fitted and may be opened for allowing access to the interior of the separated chamber.
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(JA) 【課題】基板処理のスループットを高めることの出来るロードロックチャンバシステムを提供する。
【解決手段】4つの環境的に分離されたチャンバを有する複数レベルのロードロックチャンバ100が、移送チャンバ用ロボット600を有すると共に、プロセスチャンバ16と接続させている移送チャンバ400とインターフェイスされる。移送チャンバ用ロボット600は、ロボットがその軸の周りで回転するときに水平方向に各々移動できる2つのアームアセンブリ608、616を有し、これらのアームは、ロードロック内の分離されたチャンバに届き、底部の分離された下部チャンバ224、226から基板を受け入れ、基板をプロセスチャンバ16へ搬送し、処理後、基板を上部チャンバ220、222へ入れることができる。ロードロックチャンバ内の分離されたチャンバは、分離されたチャンバの内部にアクセスするために開くことのできる枢着された蓋306を含む。
【選択図】図2