JP2008544867 ＭＥＭＳ素子の製造方法

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Japan

Application Number 2008519068

Application Date 27.06.2006

Publication Number 2008544867

Publication Date 11.12.2008

Publication Kind A

IPC

CPC

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Applicants コーニンクレッカ　フィリップス　エヌ　ヴェ

Inventors デッケル，ロナルド
ランヘレイス，ヘールト
ポールマン，ハオケ
デュームリンク，マルティン

Agents 伊東　忠彦
大貫　進介
伊東　忠重

Priority Data 05105869.1 30.06.2005 EP

Title

(JA) ＭＥＭＳ素子の製造方法

Abstract

(JA)

デバイス（100）は、第一表面（1）とそれと反対側の第二表面（2）とを有する半導体材料から成る基板（10）、及び固定電極（52）と空洞（30）内にある可動電極（51）とを備えた微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）素子（50）を有する。電極（51、52）の一方は基板（10）内に形作られている。可動電極（51）は、第１の離隔位置と第２の位置との間で固定電極（52）に対して近付いたり離れたりする方向に移動可能である。空洞（30）は、基板（10）の第二表面（2）で露出された基板（19）内の開口（18）によって開かれている。空洞（30）は、横方向で該空洞（30）を実質的に囲む基板（10）内の少なくとも１つのポスト（15）によって定められた高さを有する。

B	PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
C	PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1	Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate

B	PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
B	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3	Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes

H	ELECTRICITY
04	ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
R	LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
23	Transducers other than those covered by groups H04R9/-H04R21/99

H	ELECTRICITY
04	ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
R	LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
31	Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor

B	PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
C	PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1	Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate

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1. JP2008544867 - ＭＥＭＳ素子の製造方法

B	PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
B	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203	Basic microelectromechanical structures
01	Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0118	Cantilevers

B	PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
B	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203	Basic microelectromechanical structures
01	Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0118	Cantilevers