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1. (JP2009500631) テレセントリック軸上の暗視野照明で実施される光学系の最適化使用と性能

Office : Japan
Application Number: 2008520429 Application Date: 07.07.2006
Publication Number: 2009500631 Publication Date: 08.01.2009
Publication Kind : A
IPC:
G02B 21/00
G01N 21/956
G02B 13/24
G02B 13/18
G02B 13/22
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95
characterised by the material or shape of the object to be examined
956
Inspecting patterns on the surface of objects
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
13
Optical objectives specially designed for the purposes specified below
24
for reproducing or copying at short object distances
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
13
Optical objectives specially designed for the purposes specified below
18
with lenses having one or more non-spherical faces, e.g. for reducing geometrical aberration
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
13
Optical objectives specially designed for the purposes specified below
22
Telecentric objectives or lens systems
CPC:
G01N 21/9501
G01N 21/47
G01N2021/8822
G02B 13/22
Applicants: エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
Inventors: ボールドウィン、レオ
エメリー ジョゼフ、ジェイ
Agents: 松永 宣行
Priority Data: 60/697,904 08.07.2005 US
Title: (JA) テレセントリック軸上の暗視野照明で実施される光学系の最適化使用と性能
Abstract: front page image
(JA)

半導体ウエハなどの平面鏡のような物体(102)を画像化するために提供されるシステム(系)および方法。一実施例では、平面反射物体(102)の欠陥を画像化する結像システム(100)は、光収差が実質的に修正されるに十分な非球面を有するテレセントリックレンズ(110)を含む。結像システム(100)は、また開口が設けられたテレセントリック絞り(116)を含み、該絞りは欠陥から反射した光が開口を通過することを許すが平面反射物体(102)から反射した光を阻止する。結像システム(100)は、さらにレンズ群(108)を含み、該レンズ群は、該レンズ群とテレセントリック絞り(116)との間に置かれたシステム絞りを有する。レンズ群(108)は、テレセントリックレンズ(110)から独立的に前記光収差を実質的に修正されている。
【選択図】図1A


Also published as:
KR1020080033230SG163534CN101218500CN101887032KR1020120127522WO/2007/008742