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1. (JP2008545165) 反射屈折光学系におけるレーザ暗視野照明のビーム送出システム

Office : Japan
Application Number: 2008519430 Application Date: 22.06.2006
Publication Number: 2008545165 Publication Date: 11.12.2008
Publication Kind : A
IPC:
G02B 17/08
G02B 21/06
G02B 21/02
G02B 21/18
G02B 21/10
G02B 21/12
G02B 21/16
G01N 21/956
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
17
Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
08
Catadioptric systems
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
06
Means for illuminating specimen
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
02
Objectives
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
18
Arrangements with more than one light-path, e.g. for comparing two specimens
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
06
Means for illuminating specimen
08
Condensers
10
affording dark-field illumination
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
06
Means for illuminating specimen
08
Condensers
12
affording bright-field illumination
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
16
adapted for ultra-violet illumination
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95
characterised by the material or shape of the object to be examined
956
Inspecting patterns on the surface of objects
Applicants: ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション
Inventors: チャン ユン−ホ
アームストロング ジェイ ジョーゼフ
Agents: 吉田 研二
石田 純
Priority Data: 11/171,079 30.06.2005 US
Title: (JA) 反射屈折光学系におけるレーザ暗視野照明のビーム送出システム
Abstract:
(JA)

試料を検査する方法および装置を提供する。本装置は、第1照明源と、第1照明源から受け取った光エネルギを実質的に垂直な角度で前記試料に向かうように誘導する、中央掩蔽を提示する反射屈折対物レンズと、前記反射屈折対物レンズによって生じる前記中央掩蔽内に配置され、第2照明源からの追加照明を受け取って、前記試料に向けて追加照明の進路を変える、プリズムや反射面等の光学装置と、を含む。本方法は、第1照明源を用いて、前記試料の表面を各種の角度で照光することと、第2照明源を用いて前記表面を照光することとを含み、前記第2照明源による照光は、実質的に垂直な入射角度で行われ、また、反射、散乱、および回折されたすべてのリグを結像させることを更に含む。


Also published as:
EP1896829WO/2007/005340