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1. (FR3056015) PROCEDE DE DOPAGE PAR L'AZOTE DE MATERIAUX SOLIDES

Office : France
Application Number: 1658615 Application Date: 15.09.2016
Publication Number: 3056015 Publication Date: 16.03.2018
Grant Number: 3056015 Grant Date: 12.10.2018
Publication Kind : B1
IPC:
H01L 21/22
C01B 32/05
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02
Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
04
the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer, carrier concentration layer
18
the devices having semiconductor bodies comprising elements of the fourth group of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
22
Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into, or out of, a semiconductor body, or between semiconductor regions; Redistribution of impurity materials, e.g. without introduction or removal of further dopant
[IPC code unknown for C01B 32/05]
CPC:
C01B 32/194
C01B 32/152
C01B 32/168
C01B 32/20
Applicants: ECOLE POLYTECH
COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
CENTRE NAT RECH SCIENT
Inventors: CORBEL CATHERINE MYRIAM HELENE
SHCHEDRINA IRINA
RENAULT JEAN-PHILIPPE JACQUES
Priority Data: 1658615 15.09.2016 FR
Title: (FR) PROCEDE DE DOPAGE PAR L'AZOTE DE MATERIAUX SOLIDES
Abstract: front page image
(FR) L'invention concerne un procédé de dopage à l'azote d'un matériau comprenant ou constitué d'un ensemble d'atomes de carbone à l'état d'hybridation sp2, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : a) la mise en contact dudit matériau avec du diazote b) l'irradiation du matériau et du diazote mis en contact par un faisceau d'électrons ou d'ions légers dont l'énergie est supérieure ou égale à 0,1 MeV, pour obtenir un matériau dont tout ou partie de l'ensemble d'atomes de carbone à l'état d'hybridation sp2 est dopé à l'azote ; le matériau n'étant pas oxydé préalablement à l'étape a).