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1. FR2955938 - DISPOSITIF ELECTRONIQUE DE PILOTAGE ET D'AMPLIFICATION POUR UNE SONDE LOCALE PIEZOELECTRIQUE DE MESURE DE FORCE SOUS UN FAISCEAU DE PARTICULES

Office
France
Application Number 1050633
Application Date 29.01.2010
Publication Number 2955938
Publication Date 05.08.2011
Grant Number 2955938
Grant Date 03.08.2012
Publication Kind B1
IPC
G01Q 60/38
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
60Particular types of SPM or apparatus therefor; Essential components thereof
24AFM or apparatus therefor, e.g. AFM probes
38Probes, their manufacture or their related instrumentation, e.g. holders
G01Q 10/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
G01Q 20/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
20Monitoring the movement or position of the probe
CPC
G01Q 10/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04Fine scanning or positioning
06Circuits or algorithms therefor
G01Q 30/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
02Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
H01L 41/042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
042Drive or control circuitry or methods for piezo-electric or electrostrictive devices not otherwise provided for
Applicants COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventors POLESEL JEROME
Priority Data 1050633 29.01.2010 FR
Title
(FR) DISPOSITIF ELECTRONIQUE DE PILOTAGE ET D'AMPLIFICATION POUR UNE SONDE LOCALE PIEZOELECTRIQUE DE MESURE DE FORCE SOUS UN FAISCEAU DE PARTICULES
Abstract
(FR) L'invention concerne un dispositif électronique de pilotage d'une sonde locale à résonateur piézoélectrique (11) et de préamplification et traitement de ses signaux, cette sonde étant destinée à la mesure locale de propriétés physiques d'un échantillon (10) dans un environnement présentant un faisceau de particules (12) dirigé vers la sonde (11), dans lequel une tension d'excitation générée par les moyens d'excitation (15) est appliquée au résonateur piézoélectrique (11) via un premier transformateur d'isolation galvanique (TR_1), et dans lequel un courant de mesure des oscillations mécaniques du résonateur piézoélectrique (11) est appliqué via un second transformateur d'isolation galvanique (TR_2) à des moyens de préamplification (18) situés en aval.