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1. EP2725332 - Method for manufacturing a piezoresistive sensor

Office European Patent Office
Application Number 13188515
Application Date 14.10.2013
Publication Number 2725332
Publication Date 30.04.2014
Publication Kind B1
IPC
G01L 1/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
18using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
G01D 5/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED BY A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; TRANSFERRING OR TRANSDUCING ARRANGEMENTS NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
5Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
12using electric or magnetic means
G01P 15/08
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION OR SHOCK; INDICATING PRESENCE OR ABSENCE OF MOVEMENT;  INDICATING DIRECTION OF MOVEMENT 
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces
08with conversion into electric or magnetic values
G01P 15/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION OR SHOCK; INDICATING PRESENCE OR ABSENCE OF MOVEMENT;  INDICATING DIRECTION OF MOVEMENT 
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces
08with conversion into electric or magnetic values
12by alteration of electrical resistance
H01C 10/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CRESISTORS
10Adjustable resistors
10adjustable by mechanical pressure or force
CPC
G01P 15/0802
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
0802Details
G01L 1/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
18using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
G01P 15/123
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
12by alteration of electrical resistance
123by piezo-resistive elements, e.g. semiconductor strain gauges
H01C 10/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CRESISTORS
10Adjustable resistors
10adjustable by mechanical pressure or force
Applicants COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventors POLESEL MARIS JÉRÔME
Designated States
Priority Data 1260072 23.10.2012 FR
Title
(DE) Herstellungsverfahren eines piezoresistiven Sensors
(EN) Method for manufacturing a piezoresistive sensor
(FR) Procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif
Abstract
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif comprenant au moins un levier en polyimide muni d'au moins une électrode, caractérisé en ce qu'il comprend, à partir d'une feuille en polyimide recouverte d'une couche métallique, les étapes suivantes : (a) déposer une couche faite d'un matériau photosensible positif sur la couche métallique ; (b) déposer un masque sur la couche en matériau photosensible, ledit masque étant un masque positif dont le motif définit au moins la forme de ou de chaque électrode métallique, à réaliser, du capteur ; (c) insoler l'ensemble formé à l'issue de l'étape (b) du côté de la couche en matériau photosensible pour activer la partie de cette couche qui n'est pas protégée par le masque ; (d) retirer le masque ; (e) révéler par voie chimique le motif de la couche en matériau photosensible défini par le masque, cette étape permettant de supprimer la partie de la couche photosensible insolée lors de l'étape (c) et ainsi de mettre à nue une partie de la couche métallique ; (f) effectuer un recuit pour durcir la partie de la couche en matériau photosensible restante ; (g) supprimer par voie chimique la partie de la couche métallique qui a été mise à nue lors de l'étape (e), par exemple dans une solution aqueuse basique ou acide ; (h) supprimer la partie de la couche en matériau photosensible restante, de sorte à former une feuille en polyimide sur laquelle est déposé le motif métallique correspondant à celui du masque ; (i) former le ou chaque levier dans la feuille en polyimide.

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