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1. (EP2389575) DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING OPTICAL PATH LENGTHS

Office : European Patent Office (EPO)
Application Number: 09776327 Application Date: 20.01.2009
Publication Number: 2389575 Publication Date: 30.11.2011
Publication Kind : A1
Prior PCT appl.: Application Number:EP2009000327 ; Publication Number: Click to see the data
IPC:
G01N 21/47
G01B 9/02
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
17
Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47
Scattering, i.e. diffuse reflection
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
Applicants: WEITZEL THILO
Inventors: WEITZEL THILO
Priority Data: EP2009000327 null
WO2009EP00327 null
09776327 20.01.2009 EP
Title: (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG VON OPTISCHEN WEGLÄNGEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING OPTICAL PATH LENGTHS
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE DÉTERMINATION DE PARCOURS OPTIQUES
Abstract:
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung von optischen Weglängendifferenzen bzw. zur optischen Kohärenz Tomograhie mit den Schritten: Erzeugung von räumlich kohärentem Licht durch eine Lichtquelle (SQ, BQ), welche einen räumlichen Monomode abstrahlt oder deren Abstrahlung durch geeignete Mittel (F) auf einen einzelnen räumlichen Mode beschränkt wird, Aufteilung zumindest eines Teils des von der genannten Lichtquelle kommenden Lichtes in zwei räumlich getrennte Pfade, Platzierung einer zu vermessenden Probe (P) im Messpfad, Verwendung von wenigstens zwei Detektoren (D) bzw. von einem Detektor (D, A) mit mindestens zwei Detektorelementen (D) und weitere Mittel (S, T, BP, F, Q, L, G, Z) zur Strahlführung, welche Licht aus einem Referenzpfad und einem Messpfad an den Detektoren/Detektorelementen (D) zusammenführen und zur Interferenz bringen, Aufnahme und Auswertung der Lichtintensitäten an den Detektoren/Detektorelementen (D) um einen Datensatz zu erhalten und numerische Auswertung und Darstellung des Datensatzes derart, dass Rückschlüsse auf sowohl räumliche Position als auch Stärke der Reflektion bzw. Streuung der Probe (P) bzw. der Strukturen im inneren der Probe (P) möglich werden.
(EN) The present invention relates to a method for determining optical path length differences and for optical coherence tomography, having the steps of: generating spatially coherent light by a light source (SQ, BQ) emitting a spatial monomode, or the emission thereof being limited to a single spatial mode by suitable means (F); dividing at least a part of the light coming from said light source into two spatially separated paths; placing a sample (P) to be measured in the measurement path; using at least two detectors (D) or one detector (D, A) having at least two detector elements (D) and further means (S, T, BP, F, Q, L, G, Z) for guiding beams, said means bringing light from a reference path and a measurement path together to the detectors/detector elements (D) and bringing said light to interference; receiving and analyzing the light intensities at the detectors/detector elements (D) in order to obtain a data set; and numerically analyzing and displaying the data set such that conclusions are possible about both the spatial position and the strength of the reflection or scattering of the sample (P) or structures within the sample (P).
(FR) L'invention concerne un procédé de détermination de différences de parcours optiques ou de tomographie à cohérence optique, procédé comprenant les étapes suivantes : production d'une lumière spatialement cohérente, au moyen d'une source lumineuse (SQ, BQ) qui rayonne un monomode spatial, ou dont le rayonnement est limité, par des moyens appropriés (F), à un mode spatial individuel; répartition d'au moins une partie de la lumière provenant de la source lumineuse précitée, en deux parcours séparés dans l'espace; mise en place d'un échantillon (P) à mesurer dans le parcours de mesure; utilisation d'au moins deux détecteurs (D) ou d'un détecteur (D, A) ayant au moins deux éléments détecteurs (D) et d'autres moyens (S, T, BP, F, Q, L, G, Z) de guidage du rayonnement, qui font converger la lumière d'un parcours de référence et d'un parcours de mesure aux détecteurs/éléments détecteurs et qui amènent en interférence, une prise de vue et une évaluation des intensités lumineuses aux détecteurs/éléments détecteurs (D), en vue d'obtenir un ensemble de données et une évaluation et une représentation numérique de l'ensemble de données, de sorte qu'il est possible de tirer des conclusions quant à la position spatiale, ainsi qu'à l'intensité de la réflexion ou de la dispersion de l'échantillon (P) ou des structures à l'intérieur de l'échantillon (P).