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1. (EP3411657) METHODS, SYSTEMS AND APPARATUS OF INTERFEROMETRY FOR IMAGING AND SENSING

Office : European Patent Office
Application Number: 17748273 Application Date: 03.02.2017
Publication Number: 3411657 Publication Date: 12.12.2018
Publication Kind : A1
Designated States: AL, AT, BA, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, ME, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Prior PCT appl.: Application Number:US2017016499 ; Publication Number: Click to see the data
IPC:
G01B 9/02
G02B 27/52
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27
Other optical systems; Other optical apparatus
50
Optics for phase object visualisation
52
Phase contrast optics
CPC:
G01B 9/02001
G01B 9/02004
G01B 9/02005
G01B 9/02007
G01B 9/02098
G01B 9/04
G02B 21/00
G02B 27/52
Applicants: ZHU YIZHENG
Inventors: ZHU YIZHENG
Priority Data: 201662290507 03.02.2016 US
2017016499 03.02.2017 US
Title: (DE) VERFAHREN, SYSTEME UND VORRICHTUNGEN DER INTERFEROMETRIE ZUR ABBILDUNG UND ERFASSUNG
(EN) METHODS, SYSTEMS AND APPARATUS OF INTERFEROMETRY FOR IMAGING AND SENSING
(FR) PROCÉDÉS, SYSTÈMES ET APPAREIL D'INTERFÉROMÉTRIE POUR IMAGERIE ET DÉTECTION
Abstract:
(EN) Various methods, systems and apparatus are provided for imaging and sensing using interferometry. In one example, a system includes an interferometer; a light source that can provide light to the interferometer at multiple wavelengths (λį); and optical path delay (OPD) modifying optics that can enhance contrast in an interferometer output associated with a sample. The light can be directed to the sample by optics of the interferometer. The interferometer output can be captured by a detector (e.g., a camera) at each of the multiple wavelengths (λį). In another example, an apparatus includes an add-on unit containing OPD that can enhance contrast in an interferometer output associated with a sample illuminated by light at a defined wavelength (λį). A detector can be attached to the add-on unit to record the interferometer output at the defined wavelength (λį).
(FR) L'invention concerne divers procédés, systèmes et un appareil d'imagerie et de détection utilisant l'interférométrie. Dans un exemple, un système comprend un interféromètre; une source lumineuse capable de fournir de la lumière à l'interféromètre sur des longueurs d'ondes multiples (λį); et une optique modifiant le temps de propagation sur le chemin optique (OPD) susceptible d'accentuer le contraste dans une sortie de l'interféromètre associée à un échantillon. La lumière peut être dirigée vers l'échantillon par une optique de l'interféromètre. La sortie de l'interféromètre peut être capturée par un détecteur (p. ex. une caméra) sur chacune des longueurs d'ondes multiples (λį). Dans un autre exemple, un appareil comprend une unité complémentaire contenant un OPD susceptible d'accentuer le contraste dans une sortie de l'interféromètre associée à un échantillon éclairé par une lumière à une longueur d'onde (λį) définie. Un détecteur peut être rattaché à l'unité complémentaire pour enregistrer la sortie de l'interféromètre à la longueur d'onde (λį) définie.
Also published as:
US20190056212WO/2017/136721