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1. (EP3068725) METHOD FOR CONTINUOUS, TRAVELLING PRODUCTION OF NANOSTRUCTURES ALIGNED ON A SUBSTRATE AND RELATED DEVICE

Office : European Patent Office
Application Number: 14802369 Application Date: 14.11.2014
Publication Number: 3068725 Publication Date: 21.09.2016
Publication Kind : A1
Designated States: AL,AT,BA,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LI,LT,LU,LV,MC,ME,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,RS,SE,SI,SK,SM,TR
Prior PCT appl.: Application Number:EP2014074600 ; Publication Number: Click to see the data
IPC:
C01B 31/02
B01J 19/22
C CHEMISTRY; METALLURGY
01
INORGANIC CHEMISTRY
B
NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF
31
Carbon; Compounds thereof
02
Preparation of carbon; Purification
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
J
CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS, COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
19
Chemical, physical, or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
18
Stationary reactors having moving elements inside
22
in the form of endless belts
CPC:
C23C 16/455
B01J 4/002
B01J 19/1862
B01J 19/22
B01J 31/2295
B01J 2219/00159
B01J 2219/00186
B01J 2231/005
B01J 2531/842
B82Y 30/00
B82Y 40/00
C01B 32/162
C01B 32/164
C01B 2202/08
Y10S 977/742
Y10S 977/843
Applicants: COMMISSARIAT À L ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Inventors: BOULANGER PASCAL
MAYNE MARTINE
PINAULT MATHIEU
CHARON EMELINE
REYNAUD CÉCILE
Priority Data: 2014074600 14.11.2014 EP
1361119 14.11.2013 FR
Title: (DE) VERFAHREN ZUR KONTINUIERLICHEN HERSTELLUNG VON AUF EINEM SUBSTRAT AUSGERICHTETEN NANOSTRUKTUREN UND ZUGEHÖRIGE VORRICHTUNG
(EN) METHOD FOR CONTINUOUS, TRAVELLING PRODUCTION OF NANOSTRUCTURES ALIGNED ON A SUBSTRATE AND RELATED DEVICE
(FR) PROCEDE DE FABRICATION AU DEFILE ET EN CONTINU DE NANOSTRUCTURES ALIGNEES SUR UN SUPPORT ET DISPOSITIF ASSOCIE
Abstract:
(EN) The invention relates to a method for continuous production of nanostructures aligned on a travelling substrate, which comprises conveying the substrate through a heated space and synthesising, in said space, nanostructures aligned on the substrate by catalytic chemical vapour deposition. The heated space is divided into n consecutive areas in the direction in which the substrate is conveyed (n being an integer > 2) and the synthesis of the nanostructures is the result of heating and injection operations, in each of said n zones, of a stream of an aerosol containing a catalytic precursor and a source precursor of the material of the nanostructures to be formed, carried by a carrier gas. The injection operations are carried out by modifying, in at least two of the n zones, at least one parameter chosen from the flow rate of the stream of carrier gas, the chemical composition of the carrier gas, and the mass concentration of the catalytic precursor in the mixture of the catalytic precursor and the source precursor. The invention also relates to a device for implementing said method.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication en continu de nanostructures alignées sur un support défilant, qui comprend le convoyage du support à travers un espace chauffé et la synthèse, dans cet espace, des nanostructures alignées sur le support par dépôt chimique catalytique en phase vapeur. L'espace chauffé est divisé en n zones consécutives dans le sens de convoyage du support (n étant un nombre entier > 2) et la synthèse des nanostructures résulte d'opérations de chauffage et d'injection, dans chacune de ces n zones, d'un flux d'un aérosol contenant un précurseur catalytique et un précurseur source du matériau des nanostructures à former, véhiculé par un gaz porteur. Les opérations d'injection sont réalisées en modifiant, dans au moins deux des n zones, au moins un paramètre choisi parmi le débit du flux du gaz porteur, la composition chimique du gaz porteur, la concentration massique du précurseur catalytique dans le mélange du précurseur catalytique et du précurseur source. L'invention concerne également un dispositif de mise en œuvre de ce procédé.
Also published as:
US20160289826FR3013061JP2016538423WO/2015/071408