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1. (EP0858638) ASTIGMATISM MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD

Office : European Patent Office
Application Number: 96936738 Application Date: 18.10.1996
Publication Number: 0858638 Publication Date: 19.08.1998
Publication Kind : A4
Prior PCT appl.: Application Number:US1996016787 ; Publication Number: Click to see the data
IPC:
G 06K
G01B 11/00
G01M 11/02
G06T 1/00
G PHYSICS
06
COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
K
RECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9
Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
60
Combination of image acquisition and preprocessing functions
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
M
TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11
Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02
Testing of optical properties
G PHYSICS
06
COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
T
IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
1
General purpose image data processing
CPC:
G01M 11/0264
G01M 11/0242
Applicants: NEOPATH INC
Inventors: RILEY JAMES K
FROST KEITH L
LINDOW WILLIAM C
HANSEN KIM J
PHAN TUAN
STEPHANICK JAMES A
Priority Data: 08547653 24.10.1995 US
9616787 18.10.1996 US
Title: (DE) APPARAT UND VERFAHREN ZUM MESSEN VON ASTIGMATISMUS
(EN) ASTIGMATISM MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE POUR LA MESURE DE L'ASTIGMATISME
Abstract:
(EN) A computer (30) receives image data from a star-shaped optical target (18) in the object plane and calculates angle-dependent boundary sharpness. The horizontal, x-direction, amplitude derivative and the vertical, y-direction, amplitude derivative are computed over a portion of each star pattern image from a Z panning sequence (83). A microscope slide stage (16), carrying the target (18), is moved vertically from a level just below where the target is in focus to a level just above where the target is in focus. For each small increment of vertical motion, Z panning, an image of the star pattern is captured for analysis (85, 86, 89). Computations are performed on the differentiated images to search for evidence of elongation of the point spread function and variation with stage Z position of the angle of long axis of such an out-of-round point spread function (134). The presence of a distorted point spread function that varies along the optical axis indicates astigmatism (136).
(FR) Un ordinateur (30) reçoit les données images depuis une cible optique en forme d'étoile (18) dans le plan de l'objet et calcule la netteté des contours en fonction de l'angle. La dérivée d'amplitude horizontale (axe x) et la dérivée d'amplitude verticale (axe y) sont déterminées sur une partie de chaque image à configuration en étoile résultant d'une séquence panoramique Z (83). Une lame porte objet (16) qui porte la cible (18) est déplacée verticalement depuis un niveau situé juste au-dessous de celui où la cible est nette jusqu'à un niveau situé immédiatement au-dessus de ce niveau de netteté. Pour chaque petite augmentation du mouvement vertical, en panoramique Z, on saisit une image de la configuration en étoile aux fins d'analyse (85, 86, 89). Les calculs sont effectués sur des images différentiées dans le but de déceler la présence d'un allongement de la réponse impulsionnelle et une variation, par rapport à la position Z du porte-objet, de l'angle d'axe long de cette réponse impulsionnelle hors révolution (134). La présence d'une réponse impulsionnelle entâchée de distorsion qui varie le long de l'axe optique met en évidence l'astigmatisme (136).
Also published as:
JPH11514445CA2234960AU1996074583WO/1997/015898