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1. DE102022110797 - Verfahren zur Behandlung eines optischen Abstandshalters

Office
Germany
Application Number 102022110797
Application Date 03.05.2022
Publication Number 102022110797
Publication Date 09.11.2023
Publication Kind A1
IPC
G01J 3/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filter
G01J 3/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
CPC
G02B 5/284
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
28Interference filters
284of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
H04N 23/10
G02B 26/001
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
001based on interference in an adjustable optical cavity
Applicants Technische Hochschule Wildau, Körperschaft des öffentlichen Rechts
Inventors Villringer Claus
Schrader Sigurd
Laufer Jan
Agents AdvInno Patent- & Rechtsanwaltspartnerschaft mbB - Heinemeyer & Joachim
Title
(DE) Verfahren zur Behandlung eines optischen Abstandshalters
Abstract
(DE)

Die Erfindung betrifft ein Verfahren (100) zur Behandlung eines optischen Abstandshalters (203) für einen Fabry-Perot Resonator (205), aufweisend die Schritte: - Anordnen des optischen Abstandshalters in einem Fabry-Perot Resonator; - Anordnen des Fabry-Perot Resonators in einem optischen System (200); -Ausrichten eines räumlich modulierten Behandlungsstrahls (232) auf den Fabry-Perot Resonator, wobei das Licht kurzwellig ist und dadurch geeignet ist, eine Brechungsindexänderung des optischen Abstandshalters zu verursachen; - Ausrichten eines Prüfstrahls (212) auf den Fabry-Perot Resonator; - räumlich aufgelöstes Detektieren eines reflektierten oder transmittierten Anteils des auf den Fabry-Perot Resonator ausgerichteten Prüfstrahls, wobei der reflektierte oder transmittierte Anteil ortsabhängige Resonanzwellenlängen des Fabry-Perot Resonators indiziert; - räumlich aufgelöstes Anpassen einer ortsabhängigen Bestrahlungsstärke des räumlich modulierten Behandlungsstrahls basierend auf dem detektierten reflektierten oder transmittierten Anteil.


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