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Die Erfindung betrifft ein Verfahren (100) zur Behandlung eines optischen Abstandshalters (203) für einen Fabry-Perot Resonator (205), aufweisend die Schritte: - Anordnen des optischen Abstandshalters in einem Fabry-Perot Resonator; - Anordnen des Fabry-Perot Resonators in einem optischen System (200); -Ausrichten eines räumlich modulierten Behandlungsstrahls (232) auf den Fabry-Perot Resonator, wobei das Licht kurzwellig ist und dadurch geeignet ist, eine Brechungsindexänderung des optischen Abstandshalters zu verursachen; - Ausrichten eines Prüfstrahls (212) auf den Fabry-Perot Resonator; - räumlich aufgelöstes Detektieren eines reflektierten oder transmittierten Anteils des auf den Fabry-Perot Resonator ausgerichteten Prüfstrahls, wobei der reflektierte oder transmittierte Anteil ortsabhängige Resonanzwellenlängen des Fabry-Perot Resonators indiziert; - räumlich aufgelöstes Anpassen einer ortsabhängigen Bestrahlungsstärke des räumlich modulierten Behandlungsstrahls basierend auf dem detektierten reflektierten oder transmittierten Anteil. ?dp>