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1. DE102020208290 - Mikromechanische Vorrichtung

Office
Germany
Application Number 102020208290
Application Date 02.07.2020
Publication Number 102020208290
Publication Date 05.01.2022
Publication Kind A1
IPC
B81B 7/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
7Microstructural systems
02containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems (MEMS)
B81C 1/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
CPC
B81B 3/0072
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0064Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
0067Mechanical properties
0072For controlling internal stress or strain in moving or flexible elements, e.g. stress compensating layers
G02B 26/0833
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
B81B 2201/042
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
04Optical MEMS
042Micromirrors, not used as optical switches
B81B 2203/0154
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0145Flexible holders
0154Torsion bars
B81B 2203/0109
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0109Bridges
Applicants Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung
Inventors Schatz Frank
Schary Timo
Doessel Kerrin
Tomaschko Jochen
Title
(DE) Mikromechanische Vorrichtung
Abstract
(DE)

Es wird eine mikromechanische Vorrichtung (1a), insbesondere eine Mikrospiegelvorrichtung, vorgeschlagen, die wenigstens eine erste mikromechanische Komponente (2a) und eine zweite mikromechanische Komponente (3a) aufweist. Die erste Komponente (2a) und die zweite Komponente (3a) sind unmittelbar oder mittelbar miteinander verbunden. Die erste mikromechanische Komponente (2a) weist einen ersten Teilkörper (4a) und wenigstens einen zweiten Teilkörper (5a) auf. Der erste Teilkörper (4a) verläuft in einer ersten Ebene (20a) und der zweite Teilkörper (5a) verläuft in einer zu der ersten Ebene (20a) unterschiedlichen zweiten Ebene (21a). Die erste (20a) und zweite Ebene (21a) verlaufen parallel zueinander und die erste Ebene (20a) verläuft oberhalb der zweiten Ebene (21a). Der zweite Teilkörper (5a) ist hierbei in einem Übergangsbereich zu der zweiten mikromechanischen Komponente (3a) angeordnet. Eine zweite Ausdehnung (26a) des zweiten Teilkörpers (5a) in Längsrichtung ist größer als eine erste Ausdehnung (25a) des ersten Teilkörpers (4a) in Längsrichtung. embedded image


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