Vorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche (2; 112), umfassend eine Lichtquelle (3) zum Erzeugen einer Folge von Lichtpulsen (61) mit einer Repetitionsrate, eine Lichtlenkeinrichtung (4–6; 4, 114; 4, 132, 134), die kontrollierbar ist, um die Folge von Lichtpulsen auf einen Oberflächenbereich (25; 117) der Oberfläche (2; 112) zu lenken, der aus mehreren Oberflächenbereichen (25, 27; 117) wählbar ist, eine Detektoranordnung (10; 102; 120; 135), die eine Mehrzahl von Detektoren (11–14; 11–13, 104; 11–13) umfasst, die eingerichtet sind, um eine Mehrzahl von von dem Oberflächenbereich (25; 117) in unterschiedliche Richtungen gestreuten und/oder reflektierte Lichtsignalen (21–24; 21–23, 105; 121–123) zu empfangen, und eine Auswerteschaltung (15), die mit der Detektoranordnung (10; 102; 120; 135) gekoppelt ist und eingerichtet ist, um zum Bestimmen einer Position des Oberflächenbereichs (25; 117) für jedes Lichtsignal (21–24; 21–23, 105; 121–123) der Mehrzahl von Lichtsignalen (21–24; 21–23, 105; 121–123) eine Phasendifferenz zwischen einem aus der Folge von Lichtpulsen abgeleiteten Referenzsignal (19; 86) und einer Signalkomponente (51; 81) des entsprechenden Lichtsignals (21–24; 21–23, 105; 121–123) zu ermitteln, wobei die Signalkomponente (51; 81) jeweils eine Frequenz aufweist, die einem Vielfachen der Repetitionsrate entspricht.
