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1. CN101432856 - Multi-level load lock chamber, transfer chamber, and robot suitable for interfacing with same

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ ZH ]

权利要求书

1.一种负载锁定室,包含:
单一室体;
第一室与第二室,以侧向分隔关系形成在该室体中;
第三室与第四室,以侧向分隔关系形成在该室体中,且位于该第一室与该第 二室下方,该第一室、该第二室、该第三室、和该第四室彼此独立地操作且每一室 具有一室开口,其中该第一室、第二室、第三室、和第四室中的环境是彼此隔离;
上方单一狭缝阀门,用于密封该第一室与该第二室的室开口;
下方单一狭缝阀门,用于密封该第三室与该第四室的室开口;以及
基板支撑件,分别位于各个室中。

2.如权利要求1所述的负载锁定室,更包含:
传送室,耦接至该单一室体,其中该传送室包含一具有中央腔体的传送主体; 以及
机械组件,设置于该中央腔体内。

3.如权利要求1所述的负载锁定室,更包含:
启动器,耦接至该上方单一狭缝阀门,其中该启动器使该上方单一狭缝阀门 在较低关闭位置及较高开启位置之间移动;以及
第二启动器,耦接至该下方单一狭缝阀门,其中该第二启动器使该下方单一 狭缝阀门在较高关闭位置及较低开启位置之间移动。

4.如权利要求1或2所述的负载锁定室,更包含:
第一盖,耦接至该单一室体,且用于选择性密封该第一室;以及
第二盖,耦接至该单一室体,且用于选择性密封该第二室。

5.如权利要求4所述的负载锁定室,更包含:
第三盖,耦接至该单一室体,且用于选择性密封该第三室;以及
第四盖,耦接至该单一室体,且用于选择性密封该第四室。

6.如权利要求5所述的负载锁定室,其特征在于,该第三盖和该第四盖枢接 至一铰链。

7.如权利要求1或2所述的负载锁定室,更包含:
多个升举销,设置于该第三室和该第四室中,其中该些升举销可在一较低位 置与一较高位置之间移动;以及
基板升举环箍,设置于该第一室和该第二室中,其中在该第一室和该第二室 中的基板升举环箍可在一较低位置与一较高位置之间移动。

8.如权利要求2所述的负载锁定室,其特征在于,该传送室更包含:
负载锁定室接口,具有贯穿该传送主体而至该中央腔体的二个开口;以及
二对狭缝阀门,耦接至该传送主体,其中每一对狭缝阀门分别设置于该负载 锁定室接口的对应开口中。

9.一种传送室,耦接至如权利要求1所述的负载锁定室,该传送室包含:
主体,具有一中央腔体和一负载锁定室接口,其中该接口包含二个贯穿该主 体而至该中央腔体的开口;
二对狭缝阀门,耦接至该主体,其中每一对狭缝阀门分别设置于该负载锁定 室接口的对应开口中,且每一个狭缝阀门选择性地密封一对应的室;以及
机械组件,设置于该中央腔体内。

10.一种处理一基板的方法,包含:
放置步骤,将二个基板放置于一负载锁定室室体中,其中该些基板位于该负 载锁定室室体中的第一室和第二室内,其中该第一室与该第二室为侧向分隔,且其 中该负载锁定室室体耦接至一整合式处理工具;
移出步骤,将该些基板从该负载锁定室室体中移出,且将该些基板放置于该 整合式处理工具中;
处理步骤,处理该些基板;以及
再次放置步骤,再次将该些基板放置到该负载锁定室室体中,其中该些基板 位于该负载锁定室室体中的第三室和第四室内,其中该第三室与该第四室为侧向分 隔且位于该第一室与该第二室的上方,且其中该第一室、该第二室、该第三室、和 该第四室彼此独立地操作,且其中该第一室、第二室、第三室、和第四室中的环境 是彼此隔离。

11.如权利要求10所述的方法,其特征在于,将该些基板放置到该第一室和 该第二室内的步骤包含:
打开一下方工厂接口门以进入该第一室和该第二室,其中一共享门耦接至该 第一室和该第二室,且其中该下方工厂接口门位于该负载锁定室室体的第一侧边。

12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,移出该些基板的步骤包含:
打开该第一室与该第二室的传送室门,其中各个室具有一独立的传送室门, 且其中该传送室门位于该负载锁定室室体的侧边,该侧边与该第一侧边相对。

13.如权利要求10所述的方法,更包含:
监控该些基板在该第一室、该第二室、该第三室、和该第四室中的状况,其 中上述的监控步骤包含通过一透射式腔室盖来监控该状况。

14.如权利要求10所述的方法,更包含:
对于其它基板,重复上述的放置步骤、移出步骤、处理步骤、和再次放置步 骤。

15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,上述的针对其它基板的重复步 骤是在上述的移出步骤之后才开始进行的。