(JA) パルスＤＣ電源およびＲＦ電源の両方が電力をスパッタ・デポジション装置に印加するスパッタ・デポジションのための方法および装置。パルスＤＣ電源はターゲットに電力が印加されるオン・サイクルおよび逆極性がターゲットに印加されるオフ・サイクルを提供する。逆性の印加は、ターゲットの表面上に蓄積するかもしれない電荷を除去する効果を有する。この効果は、基板上に蒸着される膜の品質を劣化させ得るアークがターゲットの表面上に発生する可能性を低減させる。パルスＤＣ電力と同時にＥＦ電力をターゲットに印加することによって、ターゲット表面上のイオン化効率が増大される。これにより、結果的にターゲット表面からより速く除去される材料の量はより多くなる。