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1. WO2021039038 - ELASTIC WAVE DEVICE

Publication Number WO/2021/039038
Publication Date 04.03.2021
International Application No. PCT/JP2020/023596
International Filing Date 16.06.2020
IPC
H03H 9/145 2006.1
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
02Details
125Driving means, e.g. electrodes, coils
145for networks using surface acoustic waves
H03H 9/25 2006.1
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
CPC
H03H 9/145
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
125Driving means, e.g. electrodes, coils
145for networks using surface acoustic waves
H03H 9/25
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Applicants
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 大門 克也 DAIMON, Katsuya
  • 谷口 康政 TANIGUCHI, Yasumasa
  • 山本 浩司 YAMAMOTO, Koji
Agents
  • 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI
Priority Data
2019-15689029.08.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) ELASTIC WAVE DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES
(JA) 弾性波装置
Abstract
(EN)
Provided is an elastic wave device that can increase power resistance and is unlikely to have electrode damage caused by instantaneous application of power. The elastic wave device 1 comprises a piezoelectric substrate 2 and an IDT electrode 7 provided on the piezoelectric substrate 2. The IDT electrode 7 has a plurality of first and second electrode fingers 18, 19. When an elastic wave propagation direction is a first direction x and a direction that intersects the first direction x is a second direction y, a crossover area A in the IDT electrode 7 has: a central area B positioned in the center of the second direction y; and first and second edge areas C1, C2 arranged on both sides of the central area B in the second direction y. In the central area B, the first and second electrode fingers 18, 19 include an epitaxially grown alignment film. In the first edge area C1 and the second edge area C2, the first electrode finger 18 and the second electrode finger 19 have a section that does not include the alignment film.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à ondes élastiques qui permet d'augmenter la résistance de puissance, dont l'électrode n'est pas susceptible de subir des dommages causés par l'application instantanée d'une puissance. Le dispositif à ondes élastiques (1) comprend un substrat piézoélectrique (2) et une électrode IDT (7) formée sur le substrat piézoélectrique (2). L'électrode IDT (7) possède une pluralité de premier et second doigts d'électrode (18, 19). Lorsqu'une direction de propagation d'onde élastique est une première direction x et une direction qui croise la première direction x est une seconde direction y, une zone de croisement A dans l'électrode IDT (7) comprend : une zone centrale B positionnée au centre de la seconde direction y ; et des première et seconde zones de bord C1, C2 disposées de part et d'autre de la zone centrale B dans la seconde direction y. Dans la zone centrale B, les premier et second doigts d'électrode (18, 19) comprennent un film d'alignement à croissance épitaxiale. Dans la première zone de bord C1 et la seconde zone de bord C2, le premier doigt d'électrode (18) et le second doigt d'électrode (19) ont une section qui ne comprend pas le film d'alignement.
(JA)
耐電力性を高めることができ、かつ瞬間的な電力の印加による電極破壊が生じ難い、弾性波装置を提供する。 弾性波装置1は、圧電性基板2と、圧電性基板2上に設けられているIDT電極7とを備える。IDT電極7は複数の第1,第2の電極指18,19を有する。弾性波伝搬方向を第1の方向xとし、第1の方向xに直交する方向を第2の方向yとしたときに、IDT電極7の交叉領域Aは、第2の方向yにおける中央側に位置している中央領域Bと、中央領域Bの第2の方向yにおける両側に配置されている第1,第2のエッジ領域C,Cとを有する。中央領域Bにおいて、第1,第2の電極指18,19がエピタキシャル成長した配向膜を含み、第1のエッジ領域C及び第2のエッジ領域Cにおいて、第1の電極指18及び第2の電極指19が、上記配向膜を含まない部分を有する。
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