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1. CN101847641 - Array substrate, manufacturing method thereof and wide-viewing angle liquid crystal display

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ ZH ]

权利要求书

1.一种阵列基板,包括衬底基板;所述衬底基板上形成横纵交叉的数据 线和栅线,所述数据线和栅线限定出矩阵形式排列的多个像素区域;每个像 素区域中包括公共电极线、公共电极、薄膜晶体管开关、钝化层和像素电极, 且各所述像素区域中覆盖有公共电极,且各块公共电极通过所述公共电极线 连通,所述像素电极的图案上具有多条缝隙,所述像素电极通过钝化层上的 钝化层过孔与薄膜晶体管开关连接,其特征在于,还包括:
有机透明绝缘层,形成在所述钝化层与所述像素电极之间;
所述有机透明绝缘层采用有机感光材料制成,所述有机透明绝缘层用作 为钝化层过孔的光刻胶,所述有机透明绝缘层上形成有有机层过孔,所述有 机层过孔与所述钝化层过孔完全重叠。

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于:所述有机透明绝缘层 的厚度为0.5-2微米。

3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于:所述钝化层的厚度为 0.05-0.2微米。

4.一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:
在衬底基板上采用构图工艺分别形成公共电极、公共电极线和薄膜晶体 管开关的图案;
在上述衬底基板上沉积钝化层;
在所述钝化层上形成有机透明绝缘层,并采用构图工艺在所述有机透明 绝缘层上形成有机层过孔,在所述钝化层上形成钝化层过孔;
在所述有机透明绝缘层上沉积透明导电膜层,并采用构图工艺刻蚀形成 像素电极的图案,所述像素电极的图案上具有多条缝隙,且所述像素电极通 过所述有机层过孔和所述钝化层上的钝化层过孔与所述薄膜晶体管开关连 接;
其中,在所述钝化层上形成有机透明绝缘层,并采用构图工艺在所述有机 透明绝缘层上形成有机层过孔,在所述钝化层上形成钝化层过孔包括:
在所述钝化层上涂覆有机感光材料作为有机透明绝缘层;
采用掩模板对所述有机透明绝缘层进行曝光显影操作,形成完全去除区 域和完全保留区域,完全去除区域对应钝化层过孔的位置;
对所述钝化层进行刻蚀操作,刻蚀形成所述钝化层过孔,有机透明绝缘 层上的完全去除区域作为有机层过孔。

5.根据权利要求4所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,在所述有 机透明绝缘层上沉积透明导电膜层之前,还包括:
干法灰化去除设定厚度的有机透明绝缘层。

6.根据权利要求4所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,在衬底基 板上采用构图工艺分别形成公共电极、公共电极线和薄膜晶体管开关的图案 包括:
在衬底基板上沉积透明导电膜层,并采用构图工艺刻蚀形成所述公共电 极的图案;
在上述衬底基板上沉积栅金属层,并采用构图工艺刻蚀形成公共电极线、 栅线和栅电极的图案;
在上述衬底基板上沉积栅绝缘层;
在所述栅绝缘层上沉积半导体膜层、掺杂半导体膜层和源漏金属层,并 采用构图工艺刻蚀形成半导体层、掺杂半导体层、数据线、源电极和漏电极 的图案。

7.根据权利要求4所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,在衬底基 板上采用构图工艺分别形成公共电极、公共电极线和薄膜晶体管开关的图案 包括:
在衬底基板上沉积栅金属层,并采用构图工艺刻蚀形成公共电极线、栅 线和栅电极的图案;
在上述衬底基板上沉积透明导电膜层,并采用构图工艺刻蚀形成所述公 共电极的图案;
在上述衬底基板上沉积栅绝缘层;
在所述栅绝缘层上沉积半导体膜层、掺杂半导体膜层和源漏金属层,并 采用构图工艺刻蚀形成半导体层、掺杂半导体层、数据线、源电极和漏电极 的图案。

8.根据权利要求4所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,在衬底基 板上采用构图工艺分别形成公共电极、公共电极线和薄膜晶体管开关的图案 包括:
在衬底基板上沉积透明导电膜层,再沉积栅金属层;
在所述栅金属层上涂覆光刻胶;
采用灰色调掩模板或半色调掩模板对所述光刻胶进行曝光显影,形成完 全去除区域、半保留区域和完全保留区域,半保留区域对应公共电极的图案, 完全保留区域对应公共电极线、栅电极和栅线的图案;
进行第一次刻蚀,刻蚀掉完全去除区域的栅金属层和透明导电膜层,形 成公共电极线、栅电极和栅线的图案;
灰化去除半保留区域的光刻胶;
进行第二次刻蚀,刻蚀掉半保留区域的栅金属层,形成所述公共电极的 图案;
去除剩余的光刻胶;
在上述衬底基板上沉积栅绝缘层;
在所述栅绝缘层上沉积半导体膜层、掺杂半导体膜层和源漏金属层,并 采用构图工艺刻蚀形成半导体层、掺杂半导体层、数据线、源电极和漏电极 的图案。

9.一种包括权利要求1~3任一所述的阵列基板的宽视角液晶显示器, 其特征在于:还包括彩膜基板,所述彩膜基板与所述阵列基板对盒设置,其 间填充有液晶层形成液晶面板;所述液晶面板嵌设固定在框架之中。