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1. WO2020136785 - DEFECT INSPECTION DEVICE, INSPECTION METHOD, AND OPTICAL MODULE

Publication Number WO/2020/136785
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/JP2018/048042
International Filing Date 27.12.2018
IPC
G01N 21/88 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
G01N 21/956 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
CPC
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
G01N 21/956
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
Applicants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 本田 敏文 HONDA Toshifumi
  • 松本 俊一 MATSUMOTO Shunichi
  • 有馬 英司 ARIMA Eiji
  • 浦野 雄太 URANO Yuta
Agents
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) DEFECT INSPECTION DEVICE, INSPECTION METHOD, AND OPTICAL MODULE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUTS, PROCÉDÉ D'INSPECTION ET MODULE OPTIQUE
(JA) 欠陥検査装置および検査方法並びに光学モジュール
Abstract
(EN)
Provided is an inspection device comprising: illumination optics which irradiate a sample to be inspected with light of a predetermined wavelength; detection optics which include a photoelectric conversion unit and which collect reflected light or scattered light from the sample irradiated with light, and guides the collected light to the photoelectric conversion unit; and a data processing unit which processes an output signal from the photoelectric conversion unit having detected reflected light or scattered light, and extracts position information pertaining to foreign matter or a defect on the sample. Collection optics are provided with a polarization transmission control unit in which transmission characteristics are varied in accordance with polarization characteristics of the reflected light or scattered light that has been collected. The polarization transmission control unit is provided with: a birefringent phase difference control unit which generates a predetermined phase difference due to birefringence between the fast axis and the slow axis of the reflected light or scattered light in accordance with the polarization characteristics of the reflected light or scattered light collected by means of the detection optics; and a polarization transmission unit which allows light to be transmitted selectively in accordance with the polarization direction of output light from the birefringent phase difference control unit.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection comprenant : une optique d'éclairage qui éclaire un échantillon à inspecter à l'aide d'une lumière d'une longueur d'onde prédéterminée ; une optique de détection qui comprend une unité de conversion photoélectrique et qui collecte la lumière réfléchie ou la lumière diffusée en provenance de l'échantillon éclairé à l'aide de la lumière, et qui guide la lumière collectée vers l'unité de conversion photoélectrique ; et une unité de traitement de données qui traite un signal de sortie provenant de l'unité de conversion photoélectrique ayant détecté la lumière réfléchie ou la lumière diffusée et qui extrait des informations de position concernant une matière étrangère ou un défaut présent sur l'échantillon. L'optique collectrice est pourvue d'une unité de commande de transmission de polarisation dans laquelle les caractéristiques de transmission sont modifiées en fonction des caractéristiques de polarisation de la lumière réfléchie ou de la lumière diffusée ayant été collectée. L'unité de commande de transmission de polarisation comprend : une unité de commande de différence de phase biréfringente qui génère une différence de phase prédéterminée correspondant à la biréfringence entre l'axe rapide et l'axe lent de la lumière réfléchie ou de la lumière diffusée en fonction des caractéristiques de polarisation de la lumière réfléchie ou de la lumière diffusée collectée par l'optique de détection ; et une unité de transmission de polarisation qui permet à la lumière d'être transmise sélectivement en fonction de la direction de polarisation de la lumière de sortie provenant de l'unité de commande de différence de phase biréfringente.
(JA)
検査装置を、被検査試料に所定波長の光を照射する照明光学系と、光電変換部を備えて光が照射された試料からの反射光または散乱光を集光して光電変換部へ導く検出光学系と、反射光または散乱光を検出した光電変換部の出力信号を処理して試料上の異物または欠陥の位置情報を抽出するデータ処理部とを備えて構成し、集光光学系は、集光した反射光または散乱光の偏光特性に応じて透過特性を変化させる偏光透過制御ユニットを備え、この偏光透過制御ユニットを、検出光学系で集光した反射光または散乱光の偏光特性に応じて反射光または散乱光の進相軸と遅相軸間の複屈折による所定の位相差を発生させる複屈折位相差制御部と、この複屈折位相差制御部の出力光の偏光方向に応じて光を選択的に透過させる偏光透過部を備えて構成した。
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