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1. CN110697779 - Friction regulation and control method for molybdenum disulfide, device and system

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ ZH ]

权利要求书

1.一种二硫化钼的摩擦调控方法,其特征在于,包括:
获得不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,所述不同电子束照射条件包括不同的加速电压条件和不同的电子束电流条件;二硫化钼对应的摩擦副为二硫化钼与原子力显微镜探针之间形成的摩擦副;
根据不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,获得二硫化钼的摩擦特征数据;
在获得二硫化钼的目标摩擦力后,基于二硫化钼的摩擦特征数据,控制电子束照射二硫化钼,以调控二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力至目标摩擦力。

2.如权利要求1所述的二硫化钼的摩擦调控方法,其特征在于,获得不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,包括:
获得多组电子束照射条件;
针对每一组电子束照射条件,控制扫描电子显微镜的加速电压和电子束电流满足该组电子束照射条件;
在原子力显微镜探针在二硫化钼表面以设定扫描速度移动时,获得每一组电子束照射条件下二硫化钼与原子力显微镜探针之间的摩擦力数据。

3.如权利要求2所述的二硫化钼的摩擦调控方法,其特征在于,二硫化钼的摩擦特征数据包括摩擦力数据与加速电压、电子束电流的关系;
根据不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,获得二硫化钼的摩擦特征数据,包括:
根据多组电子束照射条件下二硫化钼与原子力显微镜探针之间的摩擦力数据,获得摩擦力数据与加速电压、电子束电流的关系。

4.如权利要求3所述的二硫化钼的摩擦调控方法,其特征在于,基于二硫化钼的摩擦特征数据,控制电子束照射二硫化钼,以调控二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力至目标摩擦力,包括:
根据摩擦力数据与加速电压、电子束电流的关系,调控扫描电子显微镜的加速电压和电子束电流,直至二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力至目标摩擦力。

5.如权利要求1所述的二硫化钼的摩擦调控方法,其特征在于,所述二硫化钼为单层二硫化钼。

6.一种二硫化钼的摩擦调控装置,其特征在于,包括:
摩擦力数据获得模块,用于获得不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,所述不同电子束照射条件包括不同的加速电压条件和不同的电子束电流条件;
摩擦特征数据获得模块,用于根据不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,获得二硫化钼的摩擦特征数据;
调控模块,用于在获得二硫化钼的目标摩擦力后,基于二硫化钼的摩擦特征数据,控制电子束照射二硫化钼,以调控二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力至目标摩擦力。

7.一种二硫化钼的摩擦调控系统,其特征在于,包括:权利要求6所述的二硫化钼的摩擦调控装置,原子力显微镜,扫描电子显微镜,其中,
原子力显微镜,用于通过原子力显微镜探针在二硫化钼表面以设定扫描速度移动,获得不同电子束照射条件下二硫化钼与原子力显微镜探针之间的摩擦力数据,并将所述摩擦力数据发送至二硫化钼的摩擦调控装置;
扫描电子显微镜,用于接收电子束控制命令,根据电子束控制命令发射电子束,所述电子束控制命令包括不同电子束照射条件;
二硫化钼的摩擦调控装置还用于,向原子力显微镜发送电子束控制命令;接收所述摩擦力数据。

8.一种计算机设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至5任一项所述方法。

9.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储有执行权利要求1至5任一项所述方法的计算机程序。