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1. KR1020150096492 - 정전척

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[ KO ]
청구의 범위
청구항 1
흡착 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 상기 제 2 주면으로부터 상기 제 1 주면에 걸쳐서 설치된 관통공을 갖는 세라믹 유전체 기판과,상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 상기 관통공과 연통하는 가스 도입로를 갖는 금속제의 베이스 플레이트와,상기 가스 도입로에 설치된 세라믹 다공체와, 상기 세라믹 다공체와 상기 가스 도입로 사이에 설치되고 상기 세라믹 다공체보다 치밀한 세라믹 절연막을 갖는 절연체 플러그를 구비하고,상기 세라믹 절연막은 상기 세라믹 다공체의 표면으로부터 상기 세라믹 다공체의 내부로 침입한 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 2
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 절연막의 열팽창률은 상기 세라믹 다공체의 열팽창률 및 상기 세라믹 유전체 기판의 열팽창률의 각각과 같은 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 3
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 절연막 표면의 산술 평균 거칠기는 상기 세라믹 다공체 표면의 산술 평균 거칠기보다 작고, 상기 세라믹 유전체 기판 표면의 산술 평균 거칠기보다 큰 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 4
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 절연막의 기공률은 10퍼센트 이하이고,상기 세라믹 다공체의 기공률은 30퍼센트 이상 60퍼센트 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 5
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 절연막의 밀도는 3.0그램/입방센티미터 이상 4.0그램/입방센티미터 이하이고,상기 세라믹 다공체의 밀도는 1.5그램/입방센티미터 이상 3.0그램/입방센티미터 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 6
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 다공체의 열팽창률을 기준으로 했을 경우에 있어서,

상기 세라믹 다공체의 열팽창률과 상기 세라믹 절연막의 열팽창률의 차의 비율은 100% 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 7
제 1 항에 있어서,상기 세라믹 다공체 및 상기 세라믹 절연막의 각각의 열팽창률은 7.0×10 -6/℃ 이상 10.0×10 -6/℃ 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 8
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 다공체 및 상기 세라믹 절연막의 각각의 열전도율은 0.3와트/미터·켈빈 이상 10와트/미터·켈빈 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 9
제 3 항에 있어서,

상기 세라믹 절연막 표면의 상기 산술 평균 거칠기는 0.5마이크로미터 이상 4마이크로미터 이하이고,상기 세라믹 다공체 표면의 상기 산술 평균 거칠기는 5마이크로미터 이상 20마이크로미터 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 10
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 절연막은 상기 세라믹 다공체의 측면에 설치된 세라믹의 용사막인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 11
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 다공체의 외경에 대한 길이의 비율은 0.6 이상인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 12
제 11 항에 있어서,

상기 세라믹 다공체의 외경은 1밀리미터 이상인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 13
제 11 항에 있어서,

상기 세라믹 다공체의 길이는 3밀리미터 이상인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 14
제 1 항에 있어서,

상기 관통공의 내경을 D, 상기 관통공의 중심으로부터 상기 세라믹 다공체의 외주까지의 거리를 L이라고 했을 경우, L/D는 5 이상인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 15
제 1 항에 있어서,

상기 관통공 1개당으로부터 유출되는 He 가스의 유량은 상기 He 가스의 압력차를 30Torr라고 했을 경우, 0.5sccm 이상 14sccm 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 16
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 다공체 1개당으로부터 유출되는 He 가스의 유량은 상기 He 가스의 압력차를 30Torr라고 했을 경우, 3sccm 이상 24sccm 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 17
제 1 항에 있어서,

상기 관통공의 내경은 0.05밀리미터 이상 1밀리미터 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.
청구항 18
제 1 항에 있어서,

상기 세라믹 다공체의 외경은 7밀리미터 이하인 것을 특징으로 하는 정전척.