Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2020134714 - STOPPING BLOCK FOR INERTIAL SENSOR

Document

说明书

发明名称 0001   0002   0003   0004   0005   0006   0007   0008   0009   0010   0011   0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023  

权利要求书

1   2   3   4   5   6   7  

附图

1   2  

说明书

发明名称 : 用于惯性传感器的阻挡块

技术领域

[0001]
本发明涉及MEMS技术领域,尤其涉及一种用于惯性传感器的阻挡块。

背景技术

[0002]
阻挡块结构是IC/MEMS传感器芯片,特别是惯性器件的重要的一部分。但是现有技术中的阻挡块结构,受冲击或者震动时易破损、易产生电荷积累、易粘连。
[0003]
发明内容
[0004]
本发明所要解决的技术问题是,提供一种用于惯性传感器的阻挡块,受冲击或者震动时不易破损。
[0005]
为了解决上述问题,本发明提供了一种用于惯性传感器的阻挡块,设置在一基底表面,用于阻挡质量块的惯性移动,包括:本体,所述本体与所述惯性质量块接触的位置为圆角,且所述本体与所述基底表面为同一材料。
[0006]
可选的,所述阻挡块进一步包括导电体,所述导电体设置在所述本体内部,并与所述基底内的导电层连接。
[0007]
可选的,所述导电体的材料为金属。
[0008]
可选的所述本体为绝缘材料。
[0009]
可选的,所述阻挡块进一步包括覆盖层,所述覆盖层覆盖于本体表面,所述覆盖层为疏水材料。
[0010]
可选的,所述覆盖层的材料为氮化硅。
[0011]
可选的,所述本体沿着平行于基底表面方向的横截面形状为矩形、圆形、椭圆形、三角形、以及正多边形中的任意一种。
[0012]
可选的,所述本体沿着平行于基底表面方向的横截面形状为矩形、圆形、椭圆形、三角形、以及正多边形中的任意一种。
[0013]
本发明阻挡块与基底表面为同一材料,利用同质材料结合紧密的特点,可以增加阻挡块的牢固程度,不易从基底上脱落;并且将阻挡块与质量块接触的位置为圆角,可以增大阻挡块与质量块之间的有效接触面积,降低阻挡块被撞击后破损的可能性。

附图说明

[0014]
附图1所示是本发明一具体实施方式所述惯性传感器的部分结构示意图。
[0015]
附图2所示是附图1的结构在质量块绕锚点发生位移并与阻挡块相接触的状态示意图。

具体实施方式

[0016]
下面结合附图对本发明提供的用于惯性传感器的阻挡块的具体实施方式做详细说明。
[0017]
附图1所示是本具体实施方式所述惯性传感器的部分结构示意图,包括阻挡块10、质量块11、以及基底12。所述阻挡块10包括本体101、覆盖层102以及导电体103。
[0018]
附图2所示是附图1的结构在质量块11绕锚点14发生位移并与阻挡块10相接触的状态示意图。从图中可以看出,将所述本体101与所述质量块11接触的位置为圆角,可以增大本体101与质量块11 之间的有效接触面积,降低阻挡块被撞击后破损的可能性。且所述本体101与所述基底12表面为同一材料,利用同质材料结合紧密的特点,可以增加阻挡块10的牢固程度,不易从基底12上脱落。
[0019]
并且,本体101为绝缘材料,可以防止反复撞击产生的电荷积累。电荷积累会在阻挡块10和质量块11之间耦合出额外的静电力,导致传感器测量偏差。
[0020]
进一步的,设置覆盖层可以进一步增加阻挡块10的牢固程度。并且,将覆盖层102设置为疏水材料,优选为氮化硅,可以防止水汽玷污,防止阻挡块10和质量块11之间发生粘连。
[0021]
并且,阻挡块10还可以进一步设置有导电体103与基底12内的导电层121连接,可以将阻挡块10上积累的电荷通过基地12导出,也可以起到避免电荷积累的作用。
[0022]
为了优化本体101与质量块11之间的有效接触面积,可以根据需要,将所述本体101沿着平行于基底12表面方向的横截面形状为矩形、圆形、椭圆形、三角形、以及正多边形中的任意一种。
[0023]
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

权利要求书

[权利要求 1]
一种用于惯性传感器的阻挡块,设置在一基底表面,用于阻挡质量块的惯性移动,其特征在于,包括: 本体,所述本体与所述惯性质量块接触的位置为圆角,且所述本体与所述基底表面为同一材料。
[权利要求 2]
根据权利要求1所述的用于惯性传感器的阻挡块,其特征在于,所述阻挡块进一步包括导电体,所述导电体设置在所述本体内部,并与所述基底内的导电层连接。
[权利要求 3]
根据权利要求2所述的用于惯性传感器的阻挡块,其特征在于,所述导电体的材料为金属。
[权利要求 4]
根据权利要求1所述的用于惯性传感器的阻挡块,其特征在于,所述本体为绝缘材料。
[权利要求 5]
根据权利要求1所述的用于惯性传感器的阻挡块,其特征在于,所述阻挡块进一步包括覆盖层,所述覆盖层覆盖于本体表面,所述覆盖层为疏水材料。
[权利要求 6]
根据权利要求5所述的用于惯性传感器的阻挡块,其特征在于,所述覆盖层的材料为氮化硅。
[权利要求 7]
根据权利要求1所述的用于惯性传感器的阻挡块,其特征在于,所述本体沿着平行于基底表面方向的横截面形状为矩形、圆形、椭圆形、三角形、以及正多边形中的任意一种。

附图

[ 图 1]  
[ 图 2]