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1. WO2021206071 - TWO-ARMED ROBOT FOR USE IN VACUUM

Publication Number WO/2021/206071
Publication Date 14.10.2021
International Application No. PCT/JP2021/014558
International Filing Date 05.04.2021
IPC
B25J 9/06 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; HANDLES FOR HAND IMPLEMENTS; WORKSHOP EQUIPMENT; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
06characterised by multi-articulated arms
H01L 21/677 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677for conveying, e.g. between different work stations
Applicants
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
Inventors
  • 芝田 武士 SHIBATA, Takeshi
  • 前田 佳樹 Maeda, Yoshiki
Agents
  • 桂川 直己 KATSURAGAWA, Naoki
Priority Data
2020-06891507.04.2020JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) TWO-ARMED ROBOT FOR USE IN VACUUM
(FR) ROBOT À DEUX BRAS DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS LE VIDE
(JA) 真空用双腕ロボット
Abstract
(EN)
A two-armed robot for use in a vacuum transports a substrate within a vacuum space. The two-armed robot for use in a vacuum comprises a base arm, a first arm, a second arm, a first hand, and a second hand. The base arm is capable of ascending/descending and also is capable of rotating. The first arm is capable of rotating relative to the base arm. The second arm is capable of rotating relative to the base arm. The first hand is rotatably provided to the first arm, the first hand holding and transporting the substrate. The second hand is rotatably provided to the second arm, the second hand holding and transporting the substrate. The first arm and the second arm are rotatably attached to the distal end of the base arm via a joint shaft formed so as to be hollow. The angle of the first hand relative to the first arm and the angle of the second hand relative to the second arm are changed independently from each other.
(FR)
L'invention concerne un robot à deux bras destiné à être utilisé dans le vide, lequel robot transporte un substrat à l'intérieur d'un espace sous vide. Le robot à deux bras destiné à être utilisé dans le vide comprend un bras de base, un premier bras, un second bras, une première main et une seconde main. Le bras de base est apte à monter/descendre, et est également apte à tourner. Le premier bras est apte à tourner par rapport au bras de base. Le second bras est apte à tourner par rapport au bras de base. La première main est disposée de façon rotative sur le premier bras, la première main supportant et transportant le substrat. La seconde main est disposée de façon rotative sur le second bras, la seconde main supportant et transportant le substrat. Le premier bras et le second bras sont attachés de manière rotative à l'extrémité distale du bras de base par l'intermédiaire d'un arbre de raccord formé de manière à être creux. L'angle de la première main par rapport au premier bras et l'angle de la seconde main par rapport au second bras sont changés indépendamment l'un de l'autre
(JA)
真空用双腕ロボットは、真空空間で基板を搬送する。真空用双腕ロボットは、ベースアームと、第1アームと、第2アームと、第1ハンドと、第2ハンドと、を備える。前記ベースアームは、昇降可能かつ回転可能である。前記第1アームは、前記ベースアームに対して回転可能である。前記第2アームは、前記ベースアームに対して回転可能である。前記第1ハンドは、前記第1アームに対して回転可能に設けられ、前記基板を保持して搬送する。前記第2ハンドは、前記第2アームに対して回転可能に設けられ、前記基板を保持して搬送する。前記第1アーム及び前記第2アームは、中空に形成された関節軸を介して、前記ベースアームの先端に回転可能に取り付けられる。前記第1アームに対する前記第1ハンドの角度と、前記第2アームに対する前記第2ハンドの角度とが、互いに独立して変更される。
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