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1. WO2021204638 - ALIGNING A DISTORTED IMAGE

Publication Number WO/2021/204638
Publication Date 14.10.2021
International Application No. PCT/EP2021/058546
International Filing Date 31.03.2021
IPC
G03F 7/20 2006.1
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
G01N 21/956 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
G06K 9/62 2006.1
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
9Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
62Methods or arrangements for recognition using electronic means
G06N 3/02 2006.1
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
NCOMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
3Computer systems based on biological models
02using neural network models
Applicants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventors
  • VERSCHUREN, Coen, Adrianus
  • MIDDLEBROOKS, Scott, Anderson
  • PISARENCO, Maxim
Agents
  • ASML NETHERLANDS B.V.
Priority Data
20169199.510.04.2020EP
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) ALIGNING A DISTORTED IMAGE
(FR) ALIGNEMENT D'UNE IMAGE DÉFORMÉE
Abstract
(EN)
A method for determining an optimized weighting of an encoder and decoder network; the method comprising: for each of a plurality of test weightings, performing the following steps with the encoder and decoder operating using the test weighting: (a) encoding, using the encoder, a reference image and a distorted image into a latent space to form an encoding; (b) decoding the encoding, using the decoder, to form a distortion map indicative of a difference between the reference image and a distorted image; (c) spatially transforming the distorted image by the distortion map to obtain an aligned image; (d) comparing the aligned image to the reference image to obtain a similarity metric; and (e) determining a loss function which is at least partially defined by the similarity metric; wherein the optimized weighting is determined to be the test weighting which has an optimized loss function.
(FR)
L'invention concerne un procédé de détermination d'une pondération optimisée d'un réseau de codeur et de décodeur. Le procédé consiste à : pour chacune d'une pluralité de pondérations de test, effectuer les étapes suivantes, le codeur et le décodeur fonctionnant à l'aide de la pondération de test : (a) coder, à l'aide du codeur, une image de référence et une image déformée en un espace latent pour former un codage ; (b) décoder le codage à l'aide du décodeur de façon à former une carte de distorsion révélant une différence entre l'image de référence et une image déformée ; (c) transformer spatialement l'image déformée à l'aide de la carte de distorsion pour obtenir une image alignée ; (d) comparer l'image alignée à l'image de référence pour obtenir une métrique de similarité ; et (e) déterminer une fonction de perte qui est au moins partiellement définie par la métrique de similarité. La pondération optimisée est déterminée comme étant la pondération de test qui présente une fonction de perte optimisée.
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