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1. JP2002164416 - APPARATUS FOR DETECTING OBJECT AND PROCESSING SYSTEM USING IT

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ JA ]
【特許請求の範囲】
【請求項1】 検出光を射出する発光素子と、前記検出光の反射光を受光する受光素子と、前記発光素子に対して被検出体の検出空間を介して配置されると共に、主として光の入射方向に光を反射する反射面を有し、この反射面に対する前記検出光の入射方向が、前記反射面の法線方向よりも所定の角度だけ傾斜された反射体と、を備えたことを特徴とする被検出体の検出装置。
【請求項2】 前記検出空間に位置することのある前記被検出体の反射面に対する前記検出光の入射方向が、前記被検出体の反射面の法線方向よりも所定の角度だけ傾斜されていることを特徴とする請求項1記載の被検出体の検出装置。
【請求項3】 前記発光素子と前記受光素子とは並設されて一体的に設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の被検出体の検出装置。
【請求項4】 一対の発光素子及び受光素子とが一体的に構成されたセンサ部と、
前記センサ部とは被検出体が存在可能な検出空間を空けて配置され、実質的に直交する2つの面からなり、検出光の入射方向と同方向に沿って反射光を射出する反射面対が全面上に多数形成された反射体と、
前記センサ部を駆動制御し、前記受光素子から得られた前記反射光に基づき被検出体の存在を判別する判別部と、
で構成され、
前記センサ部は、斜め方向から前記反射面対及び前記被検出体へ検出光を射出する位置に配置されることを特徴とする被検出体の検出装置。
【請求項5】 前記検出光は、前記反射体の反射面における法線方向に対して、6〜25度の範囲内の斜め方向から前記反射体に入射することを特徴とする請求項1または4記載の被検出体の検出装置。
【請求項6】 前記反射面対は、多面錐体の斜面により形成されており、前記多面錐体の頂角は実質的に90度に設定されていることを特徴とする請求項4または5記載の被検出体の検出装置。
【請求項7】 被処理体に対して所定の処理を施す処理システムにおいて、請求項1乃至6のいづれかに記載する検出装置を備えたことを特徴とする処理システム。
【請求項8】 前記検出装置は、前記被処理体を保持して回転させる回転台と、前記被処理体を前記回転台に移載する移載機構と、前記被処理体の外周輪郭を検出する輪郭センサ部と、前記輪郭センサ部の検出結果に基づいて位置ずれ量を求める位置ずれ検出部とを有する位置合わせ装置に設けられることを特徴とする請求項7記載の処理システム。