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1. WO2020133375 - MEMS SOUND SENSOR, MEMS MICROPHONE, AND ELECTRONIC DEVICE

Publication Number WO/2020/133375
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2018/125411
International Filing Date 29.12.2018
IPC
H04R 19/04 2006.01
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
19Electrostatic transducers
04Microphones
CPC
H04R 19/04
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
19Electrostatic transducers
04Microphones
Applicants
  • 共达电声股份有限公司 GETTOP ACOUSTIC CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 何宪龙 HO, Hsien-Lung
  • 谢冠宏 HSIEH, Kuan-Hong
  • 邱士嘉 CHIU, Shih-Chia
Agents
  • 广州华进联合专利商标代理有限公司 ADVANCE CHINA IP LAW OFFICE
Priority Data
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MEMS SOUND SENSOR, MEMS MICROPHONE, AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) CAPTEUR ACOUSTIQUE MEMS, MICROPHONE MEMS, ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(ZH) MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备
Abstract
(EN)
An MEMS sound sensor for detecting sound by means of at least one of air sound pressure change and mechanical vibration. The MEMS sound sensor comprises: a substrate provided with a back hole; a back plate provided above the substrate, a partial area of the back plate being exposed by the back hole; a diaphragm opposite to the back plate, a gap being provided between the diaphragm and the back plate, the diaphragm and the back plate constituting a capacitor structure; and a connecting column comprising a first end and a second end oppositely arranged. The first end of the connecting column is electrically connected to a middle area of the diaphragm, and the second end of the connecting column is fixedly connected to the back plate, so as to fix and support the diaphragm on the back plate, wherein at least one mass block is provided in the edge area of the diaphragm, and a gap is provided between the mass block and the back plate.
(FR)
L'invention concerne un capteur acoustique MEMS destiné à détecter un son au moyen d'un changement de pression sonore d'air et/ou d'une vibration mécanique. Le capteur acoustique MEMS comprend : un substrat pourvu d'un trou arrière ; une plaque arrière disposée au-dessus du substrat, une zone partielle de la plaque arrière étant exposée par le trou arrière ; un diaphragme opposé à la plaque arrière, un espace étant prévu entre le diaphragme et la plaque arrière, le diaphragme et la plaque arrière constituant une structure de condensateur ; et une colonne de connexion comprenant une première extrémité et une seconde extrémité agencées de manière opposée. La première extrémité de la colonne de connexion est connectée électriquement à une zone centrale du diaphragme, et la seconde extrémité de la colonne de connexion est connectée de manière fixe à la plaque arrière, de manière à fixer et à supporter le diaphragme sur la plaque arrière, au moins un bloc de masse étant disposé dans la zone de bord du diaphragme, et un espace étant prévu entre le bloc de masse et la plaque arrière.
(ZH)
一种MEMS声音传感器,用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音,MEMS声音传感器包括:基板,基板上形成有背洞;背板,设置于基板上方,且部分区域被所述背洞所裸露;振膜,与背板相对设置且与背板之间存在间隙;振膜与背板构成电容结构;以及连接柱,包括相对设置的第一端和第二端;连接柱的第一端与振膜的中间区域电性连接;连接柱的第二端与背板固定连接;以将振膜固定支撑在背板上;其中,振膜的边缘区域设置有至少一个质量块;质量块与背板之间存在间隙。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau