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1. WO2020136911 - X-RAY GENERATION TUBE, X-RAY GENERATION DEVICE, AND X-RAY IMAGING DEVICE

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明 細 書

発明の名称 X線発生管、X線発生装置およびX線撮像装置

技術分野

0001  

背景技術

0002  

先行技術文献

特許文献

0003  

発明の概要

発明が解決しようとする課題

0004   0005  

課題を解決するための手段

0006   0007   0008   0009  

発明の効果

0010  

図面の簡単な説明

0011  

発明を実施するための形態

0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14   15   16  

図面

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14   15   16  

明 細 書

発明の名称 : X線発生管、X線発生装置およびX線撮像装置

技術分野

[0001]
 本発明は、X線発生管、X線発生装置およびX線撮像装置に関するものである。

背景技術

[0002]
 特許文献1には、絶縁管と、陰極と、陽極と、内周陽極層とを有するX線発生管が記載されている。絶縁管、陰極および陽極によって内部空間を規定する外囲器が構成され、内周陽極層は、絶縁管の内面に沿うように陽極から延びている。内周陽極層は、陽極に電気的に接続されているので、絶縁管の帯電を抑制する。

先行技術文献

特許文献

[0003]
特許文献1 : 特開2016-103451号公報

発明の概要

発明が解決しようとする課題

[0004]
 X線発生管の軽量化のために、絶縁管の厚さを薄くすることが望まれている。しかしながら、絶縁管の厚さを薄くすると、絶縁管あるいはX線発生管の強度が低下しうる。しかも、絶縁管の厚さを薄くすると、絶縁管の耐電圧が低下し、電界強度が強くなり易い内周陽極層の先端部(陰極側の端部)において、絶縁管を貫通する方向に放電が発生し、これによって形成される貫通孔を通してリークが発生しうる。
[0005]
 本発明は、絶縁管を貫通する放電を抑制しつつ絶縁管の強度を確保しながらX線発生管を軽量化するために有利な技術を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0006]
 本発明の第1の側面は、X線発生管に係り、前記X線発生管は、第1開口端および第2開口端を有する絶縁管と、電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第1開口端を閉塞するように配置された陰極と、前記電子放出源からの電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第2開口端を閉塞するように配置された陽極と、前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、を備え、前記絶縁管は、前記第1開口端から離隔しかつ前記第2開口端から離隔した位置に管状リブを含み、前記管状リブは、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置されている。
[0007]
 本発明の第2の側面は、X線発生管に係り、前記X線発生管は、第1開口端および第2開口端を有する絶縁管と、電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第1開口端を閉塞するように配置された陰極と、前記電子放出源からの電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第2開口端を閉塞するように配置された陽極と、前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、前記絶縁管の外側を被覆するように配置され、前記絶縁管のシート抵抗値より小さいシート抵抗値を有し、電位が与えられる被覆部材と、を備え、前記絶縁管は、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置された管状リブを含む。
[0008]
 本発明の第3の側面は、X線発生装置に係り、前記X線発生装置は、前記第1又は第2の側面に係るX線発生管と、前記X線発生管を駆動する駆動回路と、を備える。
[0009]
 本発明の第4の側面は、前記第3の側面に係るX線発生装置と、前記X線発生装置から放射され物体を透過したX線を検出するX線検出装置と、を備える。

発明の効果

[0010]
 本発明によれば、絶縁管を貫通する放電を抑制しつつ絶縁管の強度を確保しながらX線発生管を軽量化するために有利な技術を提供する。

図面の簡単な説明

[0011]
[図1] 本発明の第1実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図2] 本発明の第2実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図3] 本発明の第3実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図4] 本発明の第4実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図5] 本発明の第5実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図6] 本発明の第6実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図7] 本発明の第7実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図8] 本発明の第8実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図9] 本発明の第9実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図10] 管状リブおよび管状導電部材の設計方法を例示的に説明する図。
[図11] 管状リブおよび管状導電部材の設計方法を例示的に説明する図。
[図12] 本発明の第10実施形態のX線発生管の構成を模式的に示す断面図。
[図13] X線発生管における電位を示すシミュレーション結果を示す図。
[図14] X線発生管における電位を示すシミュレーション結果を示す図。
[図15] 本発明の一実施形態のX線発生装置の構成を例示する図。
[図16] 本発明の一実施形態のX線検出装置の構成を例示する図。

発明を実施するための形態

[0012]
 以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴うち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
[0013]
 図1には、本発明の第1実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第1実施形態のX線発生管1は、絶縁管10と、陰極20と、陽極30と、管状導電部材50とを備えうる。絶縁管10は、第1開口端OP1および第2開口端OP2を有する。絶縁管10は、絶縁材料(例えば、セラミック又はガラス)で構成され、軸方向ADに延びる管形状を有する。管形状は、軸方向ADに直交する断面において、閉図形を構成する形状であり、例えば、円筒形状である。管形状の概念は、軸方向ADの互いに異なる位置において断面積が互いに異なる形状を含みうる。
[0014]
 陰極20は、絶縁管10の第1開口端OP1を閉塞するように配置される。陰極20は、電子を放出する電子放出源22を有する。電子放出源22は、例えば、フィラメント、および、フィラメントから放出された電子を収束させる収束電極等を含みうる。陰極20には、例えば、陽極30を基準として-100kVの電位が印加されうる。
[0015]
 陽極30は、絶縁管10の第2開口端OP2を閉塞するように配置される。陽極30は、ターゲット34と、ターゲット34を保持するターゲット保持板33と、ターゲット保持部33を保持する電極32とを含みうる。電極32は、ターゲット34に電気的に接続されていて、ターゲット34に電位を与える。ターゲット34は、電子放出源22からの電子がターゲット34に衝突することによってX線を発生する。発生したX線は、ターゲット保持板33を透過してX線発生管1の外部に放射される。陽極30は、例えば、接地電位に維持されうるが、他の電位に維持されてもよい。ターゲット34は、融点が高く、X線の発生効率が高い材料、例えば、タングステン、タンタルまたはモリブデンで構成されうる。ターゲット保持板33は、例えば、X線を透過する材料、例えば、ベリリウム、ダイヤモンド等で構成されうる。
[0016]
 管状導電部材50は、絶縁管10の内側空間において陽極30から延びるように配置されている。管状導電部材50は、軸方向ADに延びる管形状を有する。管状導電部材50は、陽極30に電気的に接続されている。管状導電部材50は、陰極20とは離隔している。管状導電部材50は、電子放出源22から放出される電子の軌道(電子放出源22とターゲット34との間の経路)の少なくとも一部を取り囲むように配置されうる。管状導電部材50は、絶縁管10の帯電が電子放出源22から放出される電子の軌道に与える影響を低減するように機能しうる。管状導電部材50は、例えば、絶縁管10の内側面に接触するように配置されうるが、絶縁管10の内側面から離隔して配置されてもよい。管状導電部材50は、陽極30と一体的に構成されてもよいが、陽極30とは別に構成され、陽極30に結合または固定されてもよい。管状導電部材50は、例えば、絶縁管10の内側面上にCVD(Chemical Vapor Deposition)、PVD(Physical Vapor Deposition)等の気相成長法、または、めっき法、または、塗布法等によって形成された膜でありうる。あるいは、管状導電部材50は、絶縁管10とは分離して形成された後に絶縁管10に挿入されてもよい。
[0017]
 絶縁管10は、第1開口端OP1から離隔しかつ第2開口端OP2から離隔した位置に管状リブ12を含みうる。絶縁管10における管状リブ12が配置された部分の厚さは、絶縁管10における他の部分の厚さより大きい。管状リブ12は、絶縁管10の強度を向上する。よって、管状リブ12を設けることは、絶縁管10の管状リブ12が設けられた部分以外の部分の厚さを薄くするために有利であり、これはX線発生管1の軽量化に寄与しうる。管状リブ12は、絶縁管10の内側空間に面するように配置されうる。
[0018]
 管状リブ12は、管状導電部材50における陰極20の側の端部52から見て放射方向RDに配置されうる。管状導電部材50の端部52は電界強度が高くなり易い部分であるので、端部52の放射方向RDに管状リブ12を設けることは、絶縁管10を貫通する方向の放電を抑制するために効果的である。つまり、管状リブ12は、絶縁管10を貫通する放電の抑制と絶縁管10の強度の確保とを同時に達成するために有利である。例えば、管状導電部材50における陰極20の側の端部52は、管状リブ12における陰極20の側の端面を含む第1仮想平面VPL1と、管状リブ12の陽極30の側の端面を含む第2仮想平面VPL2との間に位置しうる。後述するように、耐電圧の向上の観点で、第1仮想面VPL1と管状導電部材50における陰極20の側の端面51とは、離隔していることが好ましい。
[0019]
 図13には、X線発生管における電位を示すシミュレーション結果が示されている。電界強度は、等電位線の間隔が小さい部分において強い。符号Aで示されるように、管状導電部材50の端部における電界強度が強く、この部分において絶縁管10を貫通するような放電が発生し易いことが分かる。そこで、この部分に管状リブ12を設けて絶縁管10の厚さを増すことは、放電を抑制するために効果的であることが分かる。
[0020]
 図2には、本発明の第2実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第2実施形態として言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。第2実施形態のX線発生管1は、絶縁管10の外側を被覆するように配置され、電位が与えられる被覆部材40を備える点で第1実施形態のX線発生管1と異なる。被覆部材40は、陰極20および陽極30に電気的に接続されるように配置されうる。被覆部材40は、例えば、陰極20および陽極30に接触するように、陰極20、絶縁管10および陽極30を被覆しうる。被覆部材40のシート抵抗値は、絶縁管10のシート抵抗値より小さい。
[0021]
 一例において、絶縁管10の100℃における比抵抗を1×10Ωm以上かつ1×10 15Ωm以下で、絶縁管10の100℃におけるシート抵抗値をR s1、被覆部材40の100℃におけるシート抵抗値をR s2とする。この場合、R s2/R s1が1×10 -5以上かつ1×10 -1以下であることが好ましい。被覆部材40は、例えば、コバールガラス、釉薬、フリットガラス等のガラス質材料、または、金属酸化膜で構成されうる。
[0022]
 被覆部材40によって絶縁管10を被覆することは、例えば、絶縁管10の外側に平滑な面を形成するとともに、絶縁管10を構成する粒子間に汚れが入り込むことを抑制するために有利である。その結果、絶縁管10の外側表面における沿面耐電圧を向上させることができる。また、被覆部材40が低い導電性を有することで、絶縁管10の外側表面に帯電が起きたとしても、高電位差が生じる前に電荷を移動させることができ、絶縁管10が損傷を受けるような放電が発生することを抑制できる。
[0023]
 しかし、一方で、図14に示されるように、絶縁管10を被覆部材40によって被覆することによって、管状導電部材50の端部における電界強度がより強くなりうる。図14には、絶縁管10を被覆部材40で被覆したX線発生管における電位を示すシミュレーション結果が示されている。被覆部材40を設けることによって、被覆部材40の表面における電界強度(等電位線の間隔)は均一化される。しかし、それによって、符号Aで示されるように、管状導電部材50の端部の近傍において、管状導電部材50の端部における電界強度がより強くなる。
[0024]
 したがって、端部52の放射方向RDに管状リブ12を設けることは、被覆部材40を設けた構成において、絶縁管10を貫通する方向の放電を抑制するために、より高い効果を発揮しうる。
[0025]
 図3には、本発明の第3実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第3実施形態として言及しない事項は、第1又は第2実施形態に従いうる。なお、以降の全ての実施形態において、絶縁管10を被覆する被覆部材40が設けられているが、被覆部材40は、本発明における必須の構成ではない。第3実施形態では、被覆部材40は、陰極20および陽極30に電気的に接続されるように配置されているが、陰極20および陽極30の側面を覆わないように配置さている。
[0026]
 図4には、本発明の第4実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第4実施形態として言及しない事項は、第1又は第2実施形態に従いうる。第4実施形態では、被覆部材40は、陰極20および陽極30に電気的に接続されるように配置されているが、陰極20および陽極30の側面を覆わないように配置さている。陰極20は、被覆部材40の側面の一部を覆う部分を有し、および/または、陽極30は、被覆部材40の側面の一部を覆う部分を有する。
[0027]
 図5には、本発明の第5実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第5実施形態として言及しない事項は、第1乃至第4実施形態に従いうる。第5実施形態では、管状導電部材50は、電子放出源22における陽極30の側の端部を取り囲むように配置されている。図5には、管状導電部材50が電子放出源22における陽極30の側の端部を取り囲むように配置された構成が第2実施形態のX線発生管1に適用された例が示されているが、このような構成は、第1、第3、第4実施形態のX線発生管1にも適用可能である。
[0028]
 図6には、本発明の第6実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第6実施形態として言及しない事項は、第1乃至第5実施形態に従いうる。第6実施形態では、管状導電部材50は、管状導電部材50の外側面と絶縁管10の内側面との間に空間が構成されるように配置されている。このような構成は、第1乃至第5実施形態のX線発生管1にも適用可能である。
[0029]
 図7には、本発明の第7実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第7実施形態として言及しない事項は、第1乃至第6実施形態に従いうる。第7実施形態では、管状導電部材50における陰極20の側の端面51は、管状リブ12における陰極20の側の端面を含む第1仮想平面VPL1に属する。このような構成は、第1、第3乃至第5実施形態のX線発生管1にも適用可能である。
[0030]
 図8には、本発明の第8実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第8実施形態として言及しない事項は、第1乃至第7実施形態に従いうる。第8実施形態では、管状リブ12は、絶縁管10の外側空間に向けて突出する配置されている。このような構成は、第1、第3乃至第7実施形態のX線発生管1にも適用可能である。
[0031]
 図9には、本発明の第9実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第9実施形態として言及しない事項は、第1乃至第7実施形態に従いうる。第9実施形態では、管状リブ12は、絶縁管10の内側空間に面するように配置された内側管状リブ121と、絶縁管10の外側空間に向けて突出する配置された外側管状リブ122とを含む。このような構成は、第1、第3乃至第7実施形態のX線発生管1にも適用可能である。
[0032]
 以下、図10および図11を参照しながら管状リブ12および管状導電部材50の設計方法を例示的に説明する。絶縁管10のうち管状リブ12を有しない部分の厚さをT、管状リブ12の厚さをH、絶縁管10のうち管状リブ12を有する部分の厚さをTTとする。第1仮想面VPL1と管状導電部材50における陰極20の側の端面51との距離をLとする。
[0033]
 一般的に絶縁体においては、沿面の耐電圧は、バルクの耐電圧と比べて低く、実験的に、沿面の耐電圧は、1/3倍~1/10倍であることが知られている。絶縁管10を構成する絶縁体のバルクの耐電圧をE1(kV/mm)、該絶縁体の沿面方向の耐電圧をE2(kV/mm)とする。絶縁管10のうち管状リブ12を有する部分の厚さ方向の耐電圧(経路PH1における耐電圧)は、E1×TT(kV)である。図10の例では、管状リブ12の沿面を介した耐電圧(経路PH2における耐電圧)は、E2×(L+H)+E1×Tである。図11の例では、管状リブ12の沿面を介した耐電圧(経路PH2における耐電圧)は、E2×H+E1×Tである。図10の構成が図11の構成よりも、沿面を介した耐電圧の点で優れている。
[0034]
 以下、図10の構成について説明する。沿面を介した放電を避けるためには、E2×(L+H)+E1×T≧E1×TTであることが好ましい。TT=T+Hであるから、L≧(E1-E2)/E2×Hである。よって、沿面の耐電圧がバルクの耐電圧の1/3倍である場合(E1=3×E2)、L≧2Hであることが好ましく、沿面の耐電圧がバルクの耐電圧の1/10倍である場合(E1=10×E2)、L≧9Hであることが好ましい。ここで、X線発生管1の軽量化の観点からTTを5mmに設定した場合、L≧6mmであることが好ましく、L≧27mmであることが更に好ましい。
[0035]
 図12には、本発明の第10実施形態のX線発生管1の構成が模式的に示されている。第10実施形態として言及しない事項は、第1乃至第9実施形態に従いうる。第10実施形態では、絶縁管10は、管状導電部材50における陰極20の側の端部から見て放射方向に配置された管状リブ12を含む。管状導電部材50における陰極20の側の端部52は、管状リブ12における陰極20の側の端面を含む第1仮想平面VPL1と、管状リブ12の陽極30の側の端面を含む第2仮想平面VPL2との間に位置しうる。第2仮想平面VPL2は、絶縁管10における陽極30の側の端面を形成しうる。換言すると、管状リブ12における陽極30の側の端面は、絶縁管10における陽極30の側の端面と同一平面に属しうる。他の観点において、管状リブ12は、陽極30と接触するように配置されうる。
[0036]
 第10実施形態のX線発生管1は、絶縁管10の外側を被覆するように配置され、電位が与えられる被覆部材40を備えうる。被覆部材40は、陰極20および陽極30に電気的に接続されるように配置されうる。被覆部材40は、例えば、陰極20および陽極30に接触するように、陰極20、絶縁管10および陽極30を被覆しうる。被覆部材40のシート抵抗値は、絶縁管10のシート抵抗値より小さい。
[0037]
 図15には、本発明の一実施形態のX線発生装置100の構成が示されている。X線発生装置100は、X線発生管1と、X線発生管1を駆動する駆動回路3とを備えうる。X線発生装置100は、駆動回路3に昇圧された電圧を供給する昇圧回路2を更に備えうる。X線発生装置100は、X線発生管1、駆動回路3および昇圧回路2を収納する収納容器4を更に備えうる。収納容器4の中には、絶縁油が充填されうる。
[0038]
 図16には、本発明の一実施形態のX線撮像装置200の構成が示されている。X線撮像装置200は、X線発生装置100と、X線発生装置100から放射され物体106を透過したX線104を検出するX線検出装置110を備えうる。X線撮像装置200は、制御装置120および表示装置130を更に備えてもよい。X線検出装置110は、X線検出器112と、信号処理部114とを含みうる。制御装置120は、X線発生装置100およびX線検出装置110を制御しうる。X線検出器112は、X線発生装置100から放射され物体106を透過したX線104を検出あるいは撮像する。信号処理部114は、X線検出器112から出力される信号を処理して、処理された信号を制御装置120に供給しうる。制御装置120は、信号処理部114から供給される信号に基づいて、表示装置130に画像を表示させる。
[0039]
 発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。

請求の範囲

[請求項1]
 第1開口端および第2開口端を有する絶縁管と、
 電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第1開口端を閉塞するように配置された陰極と、
 前記電子放出源からの電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第2開口端を閉塞するように配置された陽極と、
 前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、を備え、
 前記絶縁管は、前記第1開口端から離隔しかつ前記第2開口端から離隔した位置に管状リブを含み、
 前記管状リブは、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置されている、
 ことを特徴とするX線発生管。
[請求項2]
 前記管状導電部材における前記陰極の側の端部は、前記管状リブにおける前記陰極の側の端面を含む第1仮想平面と、前記管状リブにおける前記陽極の側の端面を含む第2仮想平面との間に位置する、
 ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生管。
[請求項3]
 前記管状導電部材における前記陰極の側の端面は、前記管状リブにおける前記陰極の側の端面を含む第1仮想平面に属する、
 ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生管。
[請求項4]
 前記管状導電部材は、前記管状導電部材の外側面と前記絶縁管の内側面との間に空間が構成されるように配置されている、
 ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のX線発生管。
[請求項5]
 前記管状リブは、前記内側空間に面するように配置されている、
 ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のX線発生管。
[請求項6]
 前記管状リブは、前記絶縁管の外側空間に向けて突出するように配置されている、
 ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のX線発生管。
[請求項7]
 前記管状リブは、前記内側空間に面するように配置された内側管状リブと、前記絶縁管の外側空間に向けて突出するように配置された外側管状リブと、を含む、
 ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のX線発生管。
[請求項8]
 前記絶縁管の外側を被覆するように配置され、電位が与えられる被覆部材を更に備え、
 前記被覆部材のシート抵抗値は、前記絶縁管のシート抵抗値より小さい、
 ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のX線発生管。
[請求項9]
 前記被覆部材は、前記陰極および前記陽極に電気的に接続されている、
 ことを特徴とする請求項8に記載のX線発生管。
[請求項10]
 前記管状導電部材は、前記電子放出源における前記陽極の側の端部を取り囲むように配置されている、
 ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のX線発生管。
[請求項11]
 第1開口端および第2開口端を有する絶縁管と、
 電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第1開口端を閉塞するように配置された陰極と、
 前記電子放出源からの電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第2開口端を閉塞するように配置された陽極と、
 前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、
 前記絶縁管の外側を被覆するように配置され、前記絶縁管のシート抵抗値より小さいシート抵抗値を有し、電位が与えられる被覆部材と、を備え、
 前記絶縁管は、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置された管状リブを含む、
 ことを特徴とするX線発生管。
[請求項12]
 前記被覆部材は、前記陰極および前記陽極に電気的に接続されている、
 ことを特徴とする請求項11に記載のX線発生管。
[請求項13]
 前記管状導電部材の前記陰極の側の端部は、前記管状リブの前記陰極の側の端面を含む仮想平面と、前記第2開口端を含む仮想平面との間に位置する、
 ことを特徴とする請求項11又は12に記載のX線発生管。
[請求項14]
 前記管状導電部材は、前記電子放出源における前記陽極の側の端部を取り囲むように配置されている、
 ことを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載のX線発生管。
[請求項15]
 請求項1乃至14のいずれか1項に記載のX線発生管と、
 前記X線発生管を駆動する駆動回路と、
 を備えることを特徴とするX線発生装置。
[請求項16]
 請求項15に記載のX線発生装置と、
 前記X線発生装置から放射され物体を透過したX線を検出するX線検出装置と、
 を備えることを特徴とするX線撮像装置。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]

[ 図 8]

[ 図 9]

[ 図 10]

[ 図 11]

[ 図 12]

[ 図 13]

[ 図 14]

[ 図 15]

[ 図 16]