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1. DE102007033793 - Verfahren und Vorrichtung zum mikroskopischen Untersuchen einer Probe, Computerprogramm und Computerprogrammprodukt

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ DE ]
Patentansprüche
1. Verfahren zum mikroskopischen Untersuchen einer Probe ( 10), insbesondere unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 17, bei dem in einem Übersichtsmodus mit einem Mikroskop ( 20) zunächst ein aus einer Vielzahl von Einzelbildern ( 301, 302, ..) zusammengesetztes Übersichtsbild ( 300) der Probe ( 10) aufgenommen wird und
bei  dem anschließend ein Übergang in einen Detailmodus erfolgt, in welchem mit dem Mikroskop ( 20) Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) von interessierenden Bereichen ( 400, 500) der Probe ( 10) aufgenommen werden,
dadurch  gekennzeichnet,
dass  die Aufnahme des Übersichtsbilds ( 300) im Übersichtsmodus mit einer im Vergleich zur Aufnahme der Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) geringeren Auflösung der jeweils verwendeten Kamera ( 50, 60) erfolgt und dass das Übersichtbild ( 300) und die Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) mit demselben Mikroskopobjektiv ( 24) aufgenommen werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass  das Übersichtsbild ( 300) und die Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) mit derselben Kamera ( 50) aufgenommen werden,
dass die Kamera ( 50) zur Aufnahme des Übersichtsbilds ( 300) in einem Binning-Modus betrieben wird und
dass  zur anschließenden Aufnahme der Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) das Binning der Kamera ( 50) heruntergesetzt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kamera ( 50) zur Aufnahme des Übersichtsbilds ( 300) im höchsten Binning-Modus betrieben wird und dass das Binning der Kamera ( 50) für die Aufnahme der Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) ausgeschaltet wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zur Reduzierung der Auflösung für den Übersichtsmodus im Vergleich zum Detailmodus ein Sehfeld der für den Übersichtsmodus verwendeten Kamera ( 50) mit einer optischen Komponente vergrößert wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Sehfeld der für den Übersichtsmodus verwendeten Kamera ( 50) mit einem Zoom-Adapter ( 52) und/oder mit einem Kameraadapter ( 52, 62) vergrößert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme des Übersichtsbilds ( 300) eine erste Kamera ( 50) und zur Aufnahme der Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) eine zweite Kamera ( 60) verwendet wird, wobei die erste Kamera ( 50) im Vergleich zur zweiten Kamera ( 60) ein größeres Sehfeld aufweist.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das größere Sehfeld durch einen der ersten Kamera ( 50) vorgeschalteten, verkleinernden Kamera-Adapter bereitgestellt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Probentisch ( 26) des Mikroskops ( 20) während der Bildaufnahme zumindest phasenweise kontinuierlich bewegt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Probentisch ( 26) während der Bildaufnahme zumindest spaltenweise oder zeilenweise kontinuierlich bewegt wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Probe ( 10) mit einer gepulsten Lichtquelle ( 70) beleuchtet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Übersichtsbild ( 300) zur interaktiven Navigation auf der Probe ( 10) zum Auswählen der interessierenden Bereiche ( 400, 500) verwendet wird.
12. Vorrichtung zum mikroskopischen Untersuchen einer Probe ( 10), insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 11, mit einem Mikroskop ( 20),
mit  mindestens einer an das Mikroskop ( 20) angeschlossenen Kamera ( 50, 60) zum Aufnehmen von mikroskopischen Bildern und
mit  einer Steuer- und Auswerteeinheit ( 30) zum Ansteuern des Mikroskops ( 20) und der mindestens einen Kamera ( 50, 60),
wobei die Steuer- und Auswerteeinheit ( 30) in einem Übersichtsmodus zum Aufnehmen eines aus einer Vielzahl von Einzelbildern ( 301, 302, ..) zusammengesetzten Übersichtsbilds ( 300) der Probe ( 10) und in einem Detailmodus zum Aufnehmen von Detailbildern ( 401, .., 412, 501, .., 504) von interessierenden Bereichen ( 400, 500) der Probe ( 10) betreibbar ist, dadurch gekennzeichnet,
dass  im Übersichtsmodus die eingesetzte Kamera ( 50, 60) im Vergleich zum Detailmodus eine geringere Auflösung aufweist und
dass  das Übersichtbild ( 300) und die Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) mit demselben Mikroskopsobjektiv ( 24) aufnehmbar sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflösung der Kamera ( 50) für den Übersichtmodus im Vergleich zum Detailmodus durch Pixel-Binning reduzierbar ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, da- durch gekennzeichnet, dass der für die Aufnahme des Übersichtsbilds eingesetzten Kamera ( 50) ein Zoom-Adapter ( 52) zum Vergrößern des Sehfelds vorgeschaltet ist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme des Übersichtsbilds ( 300) eine erste Kamera ( 50) und zur Aufnahme der Detailbilder ( 401, .., 412, 501, .., 504) eine zweite Kamera ( 60) vorhanden ist, wobei die erste Kamera ( 50) im Vergleich zur zweiten Kamera ( 60) ein größeres Sehfeld aufweist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass zum Umschalten zwischen der ersten Kamera ( 50) und der zweiten Kamera ( 60) ein von der Steuer- und Auswerteeinheit ( 30) anzusteuernder schwenkbarer Spiegel ( 65) vorhanden ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Kamera ( 50) einen verkleinernden Kameraadapter aufweist.
18. Computerprogramm mit Programmcodemitteln, um alle Schritte eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 11 durchzuführen, wenn das Computerprogramm auf einem Computer, insbesondere der Steuer- und Auswerteeinheit ( 30) gemäß Anspruch 12, ausgeführt wird.
19. Computerprogrammprodukt mit Programmcodemitteln, die auf einem computerlesbaren Datenträger gespeichert sind, um ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11 durchzuführen, wenn das Computerprogramm auf einem Computer, insbesondere der Steuer- und Auswerteeinheit ( 30) gemäß Anspruch 12, ausgeführt wird.