(12) International Application Status Report

Received at International Bureau: 28 September 2001 (28.09.2001)

Information valid as of: Not available

Report generated on: 21 September 2021 (21.09.2021)

(10) Publication number: (43) Publication date: (26) Publication language:
WO 2002/02362221 March 2002 (21.03.2002) Japanese (JA)

(21) Application number: (22) Filing date: (25) Filing language:
PCT/JP2001/00792212 September 2001 (12.09.2001) Japanese (JA)

(31) Priority number(s): (32) Priority date(s): (33) Priority status:
2000-278311 (JP)13 September 2000 (13.09.2000) Priority document received (in compliance with PCT Rule 17.1)

(51) International Patent Classification:
G01V 8/14 (2006.01)

(71) Applicant(s):
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (for all designated states except US)
TAKAHASHI, Mikio [JP/JP]; c/o Tokyo Electron AT Limited 1-1, Azanekohazama, Nemawari Matsushima-machi, Miyagi-gun, Miyagi 981-0203 (JP) (for US only)

(72) Inventor(s):
TAKAHASHI, Mikio; c/o Tokyo Electron AT Limited 1-1, Azanekohazama, Nemawari Matsushima-machi, Miyagi-gun, Miyagi 981-0203 (JP)

(74) Agent(s):
SUZUYE, Takehiko; Suzuye & Suzuye 7-2, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)

(54) Title (EN): DETECTOR AND TREATMENT SYSTEM FOR DETECTED BODY
(54) Title (FR): DETECTEUR ET SYSTEME DE TRAITEMENT POUR CORPS DETECTE

(57) Abstract:
(EN): A detector for detected body installed across a transporting path for transporting, by a transporting mechanism, detected body to a plurality of designated positions and detecting whether the detected body is present or not on the transporting path, comprising a sensor part having a light emitting element and a light receiving element formed integrally with each other, a reflective body formed of two surfaces orthogonal to each other and having a large number of pair of reflective surfaces for emitting a reflected light along the same direction as an incident direction formed on the entire surface thereof, and a discrimination part for discriminating the presence of the detected body based on the reflective light obtained from the light receiving element, wherein the sensor part is disposed at a position capable of emitting a detection light to the pair of reflective surfaces and the detected body from a slanting direction.
(FR): L'invention porte sur un détecteur de corps installé dans une voie de transport par un mécanisme de transport afin de transporter un corps détecté vers une pluralité de positions spécifiques et détecter si le corps détecté est ou non présent dans la voie de transport. Ce détecteur comprend une partie capteur pourvue d'un émetteur de lumière et d'un récepteur de lumière intégrés l'un à l'autre ; un corps réflecteur formé de deux surfaces orthogonales et possédant un grand nombre de paires de surfaces réfléchissantes qui renvoient la lumière dans la même direction comme une direction incidente formée sur la totalité de la surface ; et une partie visant à discriminer la présence du corps détecté en fonction de la lumière réfléchie provenant du récepteur. La partie capteur est située à une position capable d'émettre, depuis une inclinaison, une lumière de détection vers la paire de surfaces réfléchissantes et vers le corps détecté.

International search report:
Received at International Bureau: 18 December 2001 (18.12.2001) [JP]

International Report on Patentability (IPRP) Chapter II of the PCT:
Not available

(81) Designated States:
KR, US
European Patent Office (EPO) : AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR