In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

Gehe zu Anmeldung

1. US5225888 - Plasma constituent analysis by interferometric techniques

Amt Vereinigte Staaten von Amerika
Aktenzeichen/Anmeldenummer 07633811
Anmeldedatum 26.12.1990
Veröffentlichungsnummer 5225888
Veröffentlichungsdatum 06.07.1993
Erteilungsnummer 5225888
Erteilungsdatum 06.07.1993
Veröffentlichungsart A
IPC
G01J 3/12
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
G01J 3/26
GPhysik
01Messen; Prüfen
JMessen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
26durch Mehrfachreflexion, z.B. Fabry-Perot-Interferometer, veränderliches Interferenzfilter
G01N 21/62
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
62Systeme, in welchen das untersuchte Material so angeregt wird, dass es Licht emittiert oder die Wellenlänge des auffallenden Lichts ändert
G01N 21/63
GPhysik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
62Systeme, in welchen das untersuchte Material so angeregt wird, dass es Licht emittiert oder die Wellenlänge des auffallenden Lichts ändert
63optisch angeregt
H05H 1/00
HElektrotechnik
05Elektrotechnik, soweit nicht anderweitig vorgesehen
HPlasmatechnik; Erzeugung von beschleunigten elektrisch geladenen Teilchen oder von Neutronen; Erzeugung oder Beschleunigung von neutralen Molekular- oder Atomstrahlen
1Erzeugen von Plasma; Handhaben von Plasma
CPC
G01J 3/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
G01N 21/62
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
Anmelder International Business Machines Corporation
Erfinder Selwyn Gary S.
Walkup Robert E.
Vertreter Whitham & Marhoefer
Titel
(EN) Plasma constituent analysis by interferometric techniques
Zusammenfassung
(EN)

An interferometer (18 or 40) is used to identify trace constituents in a plasma during processing semiconductor devices such as transistors. Light emissions collected from the processing chamber (10) are collimated by lens (14) and transmitted to the interferometer (18 or 40) which selectively allows therethrough particular wavelengths of light which are characteristic of the excitation emissions of certain atoms such as sodium and copper. The light intensity at the selected wavelengths is sensed by a photomultiplier tube (30). In one embodiment, the interferometer (18) is a Fabry-Perot type interferometer and the separation of the plates (20 and 22) which form the Fabry-Perot etalon is controlled using a piezoelectric driver (26). A signal processor (34) correlates the sensed light emissions from the photomultiplier tube (30) with the selected wavelength that is determined by the piezoelectric driver (26). In another embodiment, the interferometer (40) is a narrow bandpass interferometric filter which is tiltable with respect to the collimated incident light from the processing chamber (10). Tilting a narrow bandpass interferometric filter (42) with respect to incident light changes the path length through the filter (42) and allows for the selective transmission of certain wavelengths of light. By rapidly tilting the narrow bandpass interferometric filter (42) at a rate between 5-300 Hz with respect to the incident light, a narrow range of wavelengths on the order of 3 nm can be scanned.