PATENTSCOPE ist einige Stunden aus Wartungsgründen am Montag 03.02.2020 um 10:00 AM MEZ nicht verfügbar
Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
Einige Inhalte dieser Anwendung sind derzeit nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (RU2014121503) ЯЧЕЙКА ЕМКОСТНОГО МИКРООБРАБОТАННОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПРЕДВАРИТЕЛЬНО ПРИЖАТОГО ТИПА С ЗАГЛУШКОЙ

Amt : Russische Föderation
Anmeldenummer: 2014121503/28 Anmeldedatum: 15.10.2012
Veröffentlichungsnummer: 2014121503 Veröffentlichungsdatum: 10.12.2015
Veröffentlichungsart : A
Frühere PCT-Anm.: Anmeldenummer:IB2012055605 ; Veröffentlichungsnummer:WO2013061204 Anklicken zur Anzeige der Daten
IPC:
B06B 1/02
B Arbeitsverfahren; Transportieren
06
Erzeugen oder Übertragen mechanischer Schwingungen allgemein
B
Erzeugen oder Übertragen mechanischer Schwingungen allgemein
1
Verfahren oder Vorrichtungen zum Erzeugen mechanischer Schwingungen von Infraschall-, Schall- oder Ultraschallfrequenz
02
unter Verwendung von elektrischer Energie
CPC:
B06B 1/0292
Y10T 29/49005
G10K 11/18
H04R 31/00
Anmelder: КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС Н.В. (NL)
Erfinder: ДИРКСЕН Петер (NL)
ДЕККЕР Роналд (NL)
ХЕННЕКЕН Винсент Адрианус (NL)
ЛЕУВЕНСТЕЙН Адриан (NL)
МАРСЕЛИС Боут (NL)
ФРЕЙЗЕР Джон Дуглас (NL)
Prioritätsdaten: 61/552,485 28.10.2011 US
Titel: (RU) ЯЧЕЙКА ЕМКОСТНОГО МИКРООБРАБОТАННОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПРЕДВАРИТЕЛЬНО ПРИЖАТОГО ТИПА С ЗАГЛУШКОЙ
Zusammenfassung:
(RU) 1. Ячейка (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащая: - подложку (12), - мембрану (14), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12), и - заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (Апод) полной мембранной области (Аполн); при этом заглушка (30) контактирует с или прикреплена к подложке (12). 2. Ячейка по п. 1, при этом отверстие мембраны (14) расположено в центральной области полной мембранной области (Аполн). 3. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) содержит часть-ножку (30а), размещенную на подложке (12), и часть-головку (30b), размещенную на краевой части (14а). 4. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) содержит выемку, образованную путем удаления напряженного слоя, имеющего заданное значение механического напряжения относительно мембраны (14). 5. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая напряженный слой (17) на мембране (14), причем напряженный слой имеет заданное значение механического напряжения. 6. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) выполнена из нитрида, диоксида кремния или их сочетания. 7. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая покровный слой (40), размещенный на мембране (14) и/или заглушке (30). 8. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая первый электрод (16) на или в подложке (12) и/или второй электрод (18) на или в мембране (14). 9. Ячейка по п. 8, при этом второй электрод (18) является кольцевым электродом. 10. Ячейка по п. 1, при этом полость (20) является кольцевой полостью. 11. Ячейка по п. 1, при этом ячейка является ячейкой емкостного микрообработанного ультразвукового преобразователя (cMUT) для передачи и/или приема ультразвуковых волн. 12. Способ изготовления ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, включающий в себя этапы: - обеспечение подложки (12), - обеспечение мембраны (14), покрывающей полную мембранную область (Аполн), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), - обеспечение отверстия (15) в мембране (14) таким образом, что мембрана (14) содержит краевую часть (14а), окружающую это отверстие, - прижатие краевой части (14а) мембраны (14) к подложке (12), и - обеспечение заглушки (30), размещенной в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (Апод) полной мембранной области (Аполн) и контактирует с или прикреплена к подложке (12). 13. Способ по п. 12, при этом обеспечение заглушки (30) включает в себя нанесение дополнительного слоя на мембрану (14) по меньшей мере в полной мембранной области (Аполн) и удаление этого слоя, за исключением части слоя, расположенной в подобласти (Апод). 14. Способ по п. 12, дополнительно включающий в себя обеспечение напряженного слоя (17) на мембране (14), причем напряженный слой (17) имеет заданное значение механического напряжения относительно мембраны (14).
Also published as:
EP2747904CN103906579US20140247698MX343897JP2015504620RU0002595800
BR112014009698ID2015/02340IN3090/CHENP/2014WO/2013/061204